አልትራሳውንድ ከፍተኛ ንፅህና (UHP) ጋዞች የሴሚኮንድዌተር ኢንዱስትሪ የሕይወት ምንጭ ናቸው. ለአለም አቀፍ አቅርቦት ሰንሰለቶች ያልተለመዱ ፍላጎቶች እና መጓጓቶች ከፍተኛ ግፊት ከባድ ግፊት ዲጂታል ዲዛይን እና የማምረቻ ልምዶች ዋጋን እየጨመረ ይሄዳል. ለሴሚኮንድገር አምራቾች የ UHP ጋዝ ንፅህናን ማረጋገጥ ከመቼውም ጊዜ የበለጠ አስፈላጊ ነው.

እጅግ በጣም ከፍተኛ የመንጻት (UHP) ጋዞች በዘመናዊ ሴሚሚኖውተር ማምረቻ ፍራች በጣም ወሳኝ ናቸው

ከ UHP ጋዝ ዋና ዋና ትግበራዎች ውስጥ አንዱ በሴሚኮንዶውስ ኦክስጂን እና ከሌሎች ብክለትዎች ጎጂ ውጤቶች ከሚያስከትለው ጉዳት ጋር የሚጠብቋትን የመከላከያ ሁኔታ ለማቅረብ ያገለግላል. ሆኖም ማፍሰስ በሴሚኮንደርሩ ኢንዱስትሪ ውስጥ ከሚያደርጉት ብዙ የተለያዩ ተግባራት ውስጥ አንዱ ነው. ከዋነኛ የፕላዝማ ጋዞች ወደ ተቀባዩ ጋዞች, የአልትራሳውንድ ከፍተኛ ግፊት ጋዞች ለብዙ የተለያዩ ግፊት ጋዞች ጥቅም ላይ ይውላሉ እናም በሴሚኮንደር አቅርቦት ሰንሰለት ውስጥ አስፈላጊ ናቸው.

በሴሚኮንድገር ኢንዱስትሪ ውስጥ "ዋና" ጋዞች ያጠቃልላልናይትሮጂን(እንደ አጠቃላይ ማጽጃ እና የስነምግባር ጋዝ ያገለገለው,Argon(በመግቢያ እና በተከማቸ ግብረመልሶች ውስጥ እንደ ዋና ፕላዝማ ጋዝ ያገለገሉ),helium(በልዩ የሙቀት-ማስተላለፍ ባህሪዎች ጋር እንደ Intrt ጋዝ ሆኖ ያገለገለው) እናሃይድሮጂን(በመሳሪያ, በተቀባበል, በኤፒታኪ እና በፕላዝማ ማጽጃ ላይ በርካታ ሚናዎችን ይጫወታል).

ሴሚሚኮንግተር ቴክኖሎጂ ሲቀየር እና እንደተለወጠ, በማኑፋክቸሪንግ ሂደት ውስጥ የተጠቀሙባቸውን ጋዞች እንዲሁ. በዛሬው ጊዜ ሴሚኮንዳዩተር የማምረቻ እጽዋት እንደKryponእናኒዮንእንደ ናይትሮጂን ትሪፕሽን ያሉ የአበባዎች ዝርያዎች (NF 3) እና Tungsten Hexcformid (wf 6).

ንፅህናን እያደገ የመጣ

የመጀመሪያ የንግድ ሥራ ማይክሮፖፕ ፈጠራ, ዓለም የሰሜናዊ ተዋጊ መሳሪያዎችን አፈፃፀም በአቅራቢያ የሚጨናነቅ ጭማሪን ተመልክቷል. በአለፉት አምስት ዓመታት ውስጥ እንዲህ ዓይነቱን የአፈፃፀም መሻሻል ለማሳካት ከሚያስከትሉት አስተማማኝ መንገዶች አንዱ "የመጠን ቁርጥራጭ" በመሆኑ ብዙ ትራንዚቶችን ወደ አንድ የተወሰነ ቦታ ለመሰብሰብ የነባር የቼክ ሕንፃዎች ቁልፍ ልኬቶችን መቀነስ. ከዚህ በተጨማሪም, የአዳዲስ ቺፕ ሕንፃዎች ልማት እና የመቁረጥ-ጠርዝ ቁሳቁሶች አጠቃቀም በመሣሪያ አፈፃፀም ውስጥ የመሊሶቹን መለጠፍ አዘጋጅተዋል.

ዛሬ, የመቁረጥ-ጠርዝ ሴሚኮንድዲተሮች የመቁረጥ ወሳኝ መጠን አሁን በጣም ትንሽ ነው, በጣም አነስተኛ መጠን ያለው የመሣሪያ የመሣሪያ አፈፃፀምን ለማሻሻል ከአሁን በኋላ የሚቻል መንገድ የለም. ይልቁንም ሴሚሴዶንግሩ ተመራማሪዎች ልብ ወለድ ቁሳቁሶች እና በ 3 ዲ ቺፕ ሕንፃዎች መልክ መፍትሄ ይፈልጋሉ.

የደመቀ ቀዳዳ ቀይ-አርትዕ ማለት የአስርተ ዓመታት ማለት የዛሬ ሴሚሚዶንግ ነጠብጣቦች መሳሪያዎች ከድሮው ከሚቆዩ ጥቃቅን ነገሮች በጣም ኃይለኛ ናቸው - ግን እነሱ ደግሞ የበለጠ በቀላሉ የማይበሰብሱ ናቸው. የ 300 ሚል ሲደነገጥን መምጣት ቴክኖሎጂ መምጠፍ ለሴሚኮንዱገር ማምረቻ የ epectan ቁጥጥር ደረጃን ጨምሯል. በማኑፋክቸሪንግ ሂደት ውስጥ በጣም አነስተኛ ብክለት እንኳን ሳይቀሩ ወደ አደገኛ መሣሪያዎች ውድቀት ሊያመጣ ይችላል - ስለዚህ የጋዝ ንፅህና ከመቼውም ጊዜ ይበልጥ አስፈላጊ ነው.

ለተለመደው ሴሚኮንድገር ፍርስራሾችን ተክል, እጅግ በጣም ከፍተኛ የመጥራት ጋዝ ቀድሞውኑ ከሲሊኮን ራሱ በኋላ ትልቁ የቁሳዊ ወጭ ነው. እነዚህ ወጭዎች ወደ አዲስ ከፍታ ደረጃዎች እንዲጨምሩ ብቻ እንደሚጨምር ብቻ ነው. በአውሮፓ ውስጥ የተከናወኑ ክስተቶች ውጥረት አሸናፊ ከፍተኛ ግፊት የተፈጥሮ ጋዝ ገበያን አስከትለዋል. ዩክሬን ከዓለም ትልቁ የከፍተኛ ጥራት ላኪዎች አንዱ ነውኒዮንምልክቶች; የሩሲያ ወረራ ማለት ያልተለመደ ጋዝ አቅርቦቶች እየገፉ ናቸው. ይህ በተራው ውስጥ እንደ ሌሎች የመገልገቢያ ጋዞችን እጥረት እና ከፍተኛ ዋጋዎችን ያስከትላልKryponእናxenon.