እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና (UHP) ጋዞች የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ህይወት ደም ናቸው። ከዚህ በፊት ታይቶ የማይታወቅ ፍላጎት እና በአለምአቀፍ የአቅርቦት ሰንሰለቶች ላይ መስተጓጎል እጅግ በጣም ከፍተኛ ግፊት ያለው ጋዝ ዋጋ እየጨመረ በመምጣቱ አዳዲስ ሴሚኮንዳክተር ዲዛይን እና የማምረቻ ልማዶች የሚፈለገውን የብክለት ቁጥጥር ደረጃ እየጨመሩ ነው። ለሴሚኮንዳክተር አምራቾች የ UHP ጋዝ ንፅህናን ማረጋገጥ መቻል ከመቼውም ጊዜ ይበልጥ አስፈላጊ ነው።

በዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና (UHP) ጋዞች በጣም ወሳኝ ናቸው

የ UHP ጋዝ ዋና ዋና መተግበሪያዎች አንዱ inertization ነው: UHP ጋዝ በከባቢ አየር ውስጥ እርጥበት, ኦክስጅን እና ሌሎች በካይ ያለውን ጎጂ ውጤቶች ከ እነሱን ለመጠበቅ, ሴሚኮንዳክተር ክፍሎች ዙሪያ መከላከያ ከባቢ ለማቅረብ ጥቅም ላይ ይውላል. ይሁን እንጂ ኢንቴቴሽን በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ጋዞች ከሚያከናውኗቸው የተለያዩ ተግባራት ውስጥ አንዱ ብቻ ነው። ከዋና ፕላዝማ ጋዞች ጀምሮ እስከ ኤክቲቭ እና አነቃቂነት ጥቅም ላይ የሚውሉ ምላሽ ሰጪ ጋዞች፣ እጅግ በጣም ከፍተኛ ግፊት ያላቸው ጋዞች ለተለያዩ ዓላማዎች ጥቅም ላይ የሚውሉ ሲሆን በመላው ሴሚኮንዳክተር አቅርቦት ሰንሰለት ውስጥ አስፈላጊ ናቸው።

በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ አንዳንድ "ኮር" ጋዞች ያካትታሉናይትሮጅን(እንደ አጠቃላይ ጽዳት እና የማይነቃነቅ ጋዝ ጥቅም ላይ ይውላል)አርጎን(እንደ ዋናው የፕላዝማ ጋዝ በችግኝት እና በተቀማጭ ምላሾች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል)ሂሊየም(ልዩ የሙቀት-ማስተላለፊያ ባህሪያት ያለው የማይነቃነቅ ጋዝ ጥቅም ላይ ይውላል) እናሃይድሮጅን(በማዳከም፣ በማስቀመጥ፣ በኤፒታክሲያ እና በፕላዝማ ጽዳት ውስጥ በርካታ ሚናዎችን ይጫወታል)።

ሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ በዝግመተ ለውጥ እና በተለወጠ መጠን, እንዲሁም በማምረት ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉ ጋዞች. ዛሬ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፋብሪካዎች እንደ ጋዞችን ከክቡር ጋዞች ይጠቀማሉkryptonእናኒዮንእንደ ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (ኤንኤፍ 3) እና ቱንግስተን ሄክፋሎራይድ (WF 6) ላሉት ምላሽ ሰጪ ዝርያዎች።

የንጽሕና ፍላጎት እያደገ

የመጀመሪያው የንግድ ማይክሮ ቺፕ ከተፈለሰፈ ጊዜ ጀምሮ፣ ዓለም በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አፈፃፀም ላይ በሚያስደንቅ ሁኔታ ወደ ገላጭ ቅርብነት አሳይቷል። ባለፉት አምስት ዓመታት ውስጥ፣ የዚህ ዓይነቱን የአፈጻጸም ማሻሻያ ለማረጋገጥ አንዱና አስተማማኝ መንገዶች አንዱ “መጠን ማመጣጠን” ነው፡ ብዙ ትራንዚስተሮችን በአንድ የተወሰነ ቦታ ላይ ለመጭመቅ የነባር ቺፕ አርክቴክቸር ዋና መለኪያዎችን መቀነስ ነው። ከዚህ በተጨማሪ አዳዲስ የቺፕ አርክቴክቸር መገንባት እና የቁሳቁስ አጠቃቀም በመሳሪያው አፈጻጸም ላይ ከፍተኛ እድገት አስገኝቷል።

ዛሬ፣ የመቁረጫ ሴሚኮንዳክተሮች ወሳኝ ልኬቶች አሁን በጣም ትንሽ ከመሆናቸው የተነሳ የመጠን ልኬት የመሳሪያውን አፈጻጸም ለማሻሻል የሚያስችል አዋጭ መንገድ አይደለም። በምትኩ ሴሚኮንዳክተር ተመራማሪዎች አዲስ በሆኑ ቁሳቁሶች እና በ 3D ቺፕ አርክቴክቸር መልክ መፍትሄዎችን ይፈልጋሉ።

ደከመኝ ሰለቸኝ ሳይሉ አስርት አመታትን ያስቆጠረው የዛሬው ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ከድሮው ማይክሮ ቺፖች የበለጠ ሀይለኛ ናቸው ማለት ነው - ግን እነሱ ደግሞ በጣም ደካማ ናቸው። የ 300 ሚሜ ዋፈር ማምረቻ ቴክኖሎጂ መምጣት ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ የሚያስፈልገውን የንጽሕና ቁጥጥር ደረጃ ጨምሯል. በማምረት ሂደት ውስጥ ትንሽ ብክለት እንኳን (በተለይ ብርቅዬ ወይም የማይነቃቁ ጋዞች) ወደ አስከፊ መሳሪያዎች ውድቀት ሊያመራ ይችላል - ስለዚህ የጋዝ ንፅህና አሁን ከመቼውም ጊዜ የበለጠ አስፈላጊ ነው.

ለተለመደው ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፋብሪካ፣ እጅግ በጣም ከፍተኛ-ንፅህና ያለው ጋዝ ከሲሊኮን እራሱ በኋላ ትልቁ የቁሳቁስ ወጪ ነው። የሴሚኮንዳክተሮች ፍላጎት ወደ አዲስ ከፍታ ሲጨምር እነዚህ ወጪዎች ይጨምራሉ ተብሎ ይጠበቃል። በአውሮፓ የተከሰቱት ክስተቶች ውጥረት በበዛበት የተፈጥሮ ጋዝ ገበያ ላይ ተጨማሪ መስተጓጎል አስከትለዋል። ዩክሬን ከፍተኛ ንፅህናን ወደ ውጭ ከሚላኩ ሀገራት አንዷ ነችኒዮንምልክቶች; የሩስያ ወረራ ማለት ብርቅዬ ጋዝ አቅርቦት ተገድቧል ማለት ነው። ይህ ደግሞ እጥረት እና ሌሎች ውድ ጋዞች እንደ ዋጋ ከፍሏልkryptonእናxenon.