ቦሮን ትሪክሎራይድ (BCl3)በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በደረቅ ኢቺንግ እና በኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (CVD) ሂደቶች ውስጥ በተለምዶ ጥቅም ላይ የሚውል ኢንኦርጋኒክ ውህድ ነው። በክፍል ሙቀት ውስጥ ጠንካራ የሚነድ ሽታ ያለው ቀለም የሌለው ጋዝ ሲሆን ለእርጥበት አየር ስሜታዊ ነው ምክንያቱም ሃይድሮክሎሪክ አሲድ እና ቦሪክ አሲድ ያመነጫል።

የቦሮን ትሪክሎራይድ አተገባበር

በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ፣ቦሮን ትሪክሎራይድበዋናነት ለአሉሚኒየም ደረቅ ቅርፊት እና በሲሊኮን ዋፈር ላይ የፒ-አይነት ክልሎችን ለመፍጠር እንደ ዶፓንት ያገለግላል። እንዲሁም እንደ GaAs፣ Si፣ AlN እና በተወሰኑ የተወሰኑ አፕሊኬሽኖች ውስጥ እንደ ቦሮን ምንጭ ለመቅዳት ሊያገለግል ይችላል። በተጨማሪም ቦሮን ትሪክሎራይድ በብረት ማቀነባበሪያ፣ በመስታወት ኢንዱስትሪ፣ በኬሚካል ትንተና እና በላብራቶሪ ምርምር በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል።

የቦሮን ትሪክሎራይድ ደህንነት

ቦሮን ትሪክሎራይድመርዛማ እና መርዛማ ሲሆን በአይን እና በቆዳ ላይ ከባድ ጉዳት ሊያስከትል ይችላል። በእርጥብ አየር ውስጥ ሃይድሮላይዝ በማድረግ መርዛማ ሃይድሮጂን ክሎራይድ ጋዝ ይለቃል። ስለዚህ፣ በሚይዙበት ጊዜ ተገቢ የደህንነት እርምጃዎች መወሰድ አለባቸው።ቦሮን ትሪክሎራይድየመከላከያ ልብሶችን፣ መነጽሮችን እና የመተንፈሻ መከላከያ መሳሪያዎችን መጠቀምን እና በደንብ አየር በሚተነፍስበት አካባቢ መሥራትን ጨምሮ።