ኤፒታክሲያል (እድገት)የተቀላቀለ ጋs

በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ፣ በጥንቃቄ በተመረጠው ንጣፍ ላይ በኬሚካል ትነት ክምችት አንድ ወይም ከዚያ በላይ የቁስ ንብርብሮችን ለማሳደግ የሚያገለግለው ጋዝ ኤፒታክሲያል ጋዝ ይባላል።

በብዛት ጥቅም ላይ የሚውሉት የሲሊኮን ኤፒታክሲያል ጋዞች ዲክሎሮሲላን፣ ሲሊኮን ቴትራክሎራይድ እናሲላን. በዋናነት ለኤፒታክሲያል ሲሊከን ዲፖዚሽን፣ ለሲሊኮን ኦክሳይድ ፊልም ዲፖዚሽን፣ ለሲሊኮን ናይትራይድ ፊልም ዲፖዚሽን፣ ለፀሐይ ሴሎች እና ለሌሎች ፎቶሪሴፕተሮች አሞርፎስ ሲሊከን ፊልም ዲፖዚሽን፣ ወዘተ. ጥቅም ላይ የሚውል። ኤፒታክሲ አንድ ክሪስታል ቁስ በአንድ ንጣፍ ወለል ላይ የሚቀመጥበት እና የሚያድግበት ሂደት ነው።

የኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (CVD) የተቀላቀለ ጋዝ

ሲቪዲ (CVD) ተለዋዋጭ ውህዶችን በመጠቀም የተወሰኑ ንጥረ ነገሮችን እና ውህዶችን በጋዝ ደረጃ ኬሚካላዊ ግብረመልሶች የማስቀመጥ ዘዴ ነው፣ ማለትም የጋዝ ደረጃ ኬሚካላዊ ግብረመልሶችን በመጠቀም የፊልም መቅረጽ ዘዴ። እንደተፈጠረው የፊልም አይነት፣ ጥቅም ላይ የዋለው የኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) ጋዝም የተለየ ነው።

ዶፒንግየተቀላቀለ ጋዝ

የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን እና የተቀናጁ ወረዳዎችን በማምረት ረገድ፣ የተወሰኑ ቆሻሻዎች ወደ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶች ውስጥ ይገባሉ፣ ይህም ለቁሳቁሶቹ የሚያስፈልገውን የኮዳክቲቭ አይነት እና ተቃዋሚዎችን፣ የፒኤን መጋጠሚያዎችን፣ የተቀበሩ ንብርብሮችን፣ ወዘተ ለማምረት የተወሰነ የመቋቋም አቅም ይሰጣል። በዶፒንግ ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው ጋዝ ዶፒንግ ጋዝ ይባላል።

በዋናነት አርሲን፣ ፎስፌን፣ ፎስፈረስ ትሪፍሎሮይድ፣ ፎስፈረስ ፔንታፍሎሮይድ፣ አርሴኒክ ትሪፍሎሮይድ፣ አርሴኒክ ፔንታፍሎሮይድ፣ቦሮን ትሪፍሎራይድ, ዲቦሬን, ወዘተ.

አብዛኛውን ጊዜ፣ የዶፒንግ ምንጩ ከምንጭ ካቢኔት ውስጥ ካለው ተሸካሚ ጋዝ (እንደ አርጎን እና ናይትሮጅን ያሉ) ጋር ይቀላቀላል። ከተቀላቀለ በኋላ የጋዝ ፍሰቱ ያለማቋረጥ ወደ ስርጭት ምድጃው ውስጥ ይገባል እና ዋፈርን ይከብባል፣ ዶፓንቶችን በዋፈር ወለል ላይ ያስቀምጣል፣ ከዚያም ከሲሊኮን ጋር ምላሽ በመስጠት ወደ ሲሊኮን የሚሸጋገሩ የተከተፉ ብረቶች ያመነጫል።

ቅርፊትየጋዝ ድብልቅ

ኢቺንግ ማለት የፎቶ ተከላካይ ጭምብል ሳይደረግበት በንጣፉ ላይ ያለውን የማቀነባበሪያ ወለል (እንደ ብረት ፊልም፣ ሲሊኮን ኦክሳይድ ፊልም፣ ወዘተ) ማስወገድ ሲሆን ቦታውን በፎቶ ተከላካይ ጭምብል በመጠበቅ በንጣፉ ወለል ላይ አስፈላጊውን የምስል ንድፍ ለማግኘት ነው።

የመቅረጽ ዘዴዎች እርጥብ ኬሚካል መቆራረጥን እና ደረቅ ኬሚካል መቆራረጥን ያካትታሉ። በደረቅ ኬሚካል መቆራረጥ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው ጋዝ የመቆራረጥ ጋዝ ይባላል።

የመቅረጽ ጋዝ አብዛኛውን ጊዜ ፍሎራይድ (ሃላይድ) ነው፣ ለምሳሌካርቦን ቴትራፍሎራይድ፣ ናይትሮጅን ትሪፍሎሮይድ፣ ትሪፍሎሮሜቴን፣ ሄክሳፍሎሮኤቴን፣ ፐርፍሎሮፕሮፔን፣ ወዘተ.