Epitaxix (እድገት)የተቀላቀለ ጋs

በሴሚክዮዲተር ኢንዱስትሪ ውስጥ በኬሚካዊ የእንፋሎት ቅጣቶች ውስጥ አንድ ወይም ከዚያ በላይ የቁስ ማጠራቀሚያዎችን የሚያበቅል ነዳጅ የኤፒታሳክሲክስ ጋዝ ተብሎ ይጠራል.

በተለምዶ ጥቅም ላይ የሚውለው ሲሊኮን ኤፒታክሲን ጋዜጣዎች ዲኪሎሮኒነር, ሲሊኮን ቴትራክሎም እናሲሊ. በዋነኝነት ለሲሊኮክሲን ተቀማጭነት, ሲሊኮን ኦክሳይድ ፊልም ተቀማጭ ፊልም ተቀማጭ ፊልም ተቀማጭ ፊልም ተቀማጭ ፊልም ተቀማጭ የፊሊኮክ ቅባስ, ኤምሮፊስ ኤሲቲስ የፊሊኮክ ቅንብሮች, አንድ ነጠላ ክሪስታል ቁሳቁስ በተቀናጀው ወለል ላይ የተከማቸ እና የሚያድግበት ሂደት ነው.

የኬሚካል እንፋሎት ተቀላቅሎ የተቀላቀለ ጋዝ

CVD ተለዋዋጭ ውህዶች በመጠቀም የተወሰኑ ንጥረነገቦችን እና ውህበሮችን የመቀባበር ዘዴ ነው, ማለትም, የጋዝ ደረጃ ኬሚካዊ ግብረመልሶችን በመጠቀም የፊልም ዘዴ. በተቋቋመው ፊልም ላይ በመመርኮዝ ኬሚካዊ የእንፋሎት ተቀማጭ ገንዘብ (CVD) ጋዝ እንዲሁ የተለየ ነው.

መቆረጥየተቀላቀለ ጋዝ

የ Semicowder መሳሪያዎችን በማምረት እና የተዋሃዱ ወረዳዎች በማምረት ውስጥ የተፈለገውን የእድገት ዓይነቶች እና አንድ የተወሰነ የመቋቋም ችሎታ, በመዝገቢያው ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው ጋዝ ሊቃውንት ጋዝ ተብሎ ይጠራል.

በዋናነት አውሮፕላን, ፎስፊን, ፎስፊረስ ትሪፕሎጅ, ፎስፈረስ ኦፕሎርድሪድ, የአርሲኒክ ትሪፕሊንግ, የአርሴኒክ ትሪፕሊንግቦሮን ትሪምፕ, ዲቦራኔ, ወዘተ.

አብዛኛውን ጊዜ የመዝጊያ ምንጭ ከአገልግሎት አቅራቢ ጋዝ (እንደ Argon እና ናይትሮጂን) በሚፈፀም ካቢኔ ጋር ተቀላቅሏል. ከተደባለቀ በኋላ የጋዝ ፍሰቱ በእሳት ውስጥ ያለማቋረጥ በመግባት, እና ወደ ሲሊሰን የሚሄዱት የቆዩ ብረቶችን ለማመንጨት ከሲሊኮን ጋር ምላሽ ይሰጣል.

Etchingየጋዝ ድብልቅ

Entchist ብቅ ባለ ሚኒስትሩ ላይ የተፈለገውን የመለኪያ ማዕከላዊ ስርዓተ-ጥለት ለማግኘት የተፈለገውን ቦታ ለማግኘት, እንደ ፎቶግራፍ ማቀነባበሪያ (እንደ ብረት ፊልም, የሳይንስ ፊልም ፊልም, ወዘተ.

Atching ዘዴዎች እርጥብ ኬሚካላዊ እና ደረቅ ኬሚካል ችኮሌት ያካትታሉ. በደረቅ ኬሚካዊ ግቤት ውስጥ ያገለገለው ጋዝ ኢቶክ ጋዝ ይባላል.

ጩኸት ጋዝ ብዙውን ጊዜ የፍሎራይድ ጋዝ (ጨርቅ), እንደየካርቦን ቴትራሪንግ, ናይትሮጂን ትሪፕሎጅ, ትሪሞሮሮሜሃሃኔ, ሄክሳፊሮቴሮቴንት, ፔሪሉዮሮሮፔፔድ, ወዘተ.