ልዩ ጋዞችከአጠቃላይ ይለያልየኢንዱስትሪ ጋዞችልዩ አጠቃቀሞች ስላላቸው እና በተወሰኑ መስኮች ላይ ይተገበራሉ. ለንፅህና፣ ለንፅህና ይዘት፣ ለአቀነባበር እና ለአካላዊ እና ኬሚካላዊ ባህሪያት የተወሰኑ መስፈርቶች አሏቸው። ከኢንዱስትሪ ጋዞች ጋር ሲነፃፀሩ ልዩ ጋዞች በአይነታቸው በጣም የተለያየ ቢሆኑም አነስተኛ የምርት እና የሽያጭ መጠን አላቸው.

የድብልቅ ጋዞችእናመደበኛ የመለኪያ ጋዞችእኛ በተለምዶ የምንጠቀመው የልዩ ጋዞች አስፈላጊ አካላት ናቸው ። የተቀላቀሉ ጋዞች አብዛኛውን ጊዜ በአጠቃላይ የተደባለቁ ጋዞች እና ኤሌክትሮኒካዊ ድብልቅ ጋዞች ይከፋፈላሉ.

አጠቃላይ ድብልቅ ጋዞች የሚከተሉትን ያካትታሉ:ሌዘር ድብልቅ ጋዝ, መሳሪያ መለየት ድብልቅ ጋዝ, ብየዳ ቅልቅል ጋዝ, ጥበቃ ድብልቅ ጋዝ, የኤሌክትሪክ ብርሃን ምንጭ ድብልቅ ጋዝ, የሕክምና እና ባዮሎጂያዊ ምርምር ድብልቅ ጋዝ, ፀረ-ተባይ እና ማምከን ድብልቅ ጋዝ, መሣሪያ ማንቂያ ቅልቅል ጋዝ, ከፍተኛ-ግፊት ድብልቅ ጋዝ እና ዜሮ-ደረጃ አየር.

የኤሌክትሮኒካዊ ጋዝ ውህዶች የኤፒታክሲያል ጋዝ ውህዶች፣ የኬሚካል የእንፋሎት ክምችት ጋዝ ውህዶች፣ ዶፒንግ ጋዝ ውህዶች፣ ኢቲች ጋዝ ውህዶች እና ሌሎች የኤሌክትሮኒክስ ጋዝ ውህዶች ያካትታሉ። እነዚህ የጋዝ ውህዶች በሴሚኮንዳክተር እና በማይክሮ ኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ እና በትላልቅ የተቀናጁ ወረዳዎች (LSI) እና በጣም ትልቅ መጠን ባለው የተቀናጀ ወረዳ (VLSI) ማምረቻ እንዲሁም በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ምርት ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ ።

5 የኤሌክትሮኒክስ የተቀላቀሉ ጋዞች በብዛት በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉ

የተቀላቀለ ጋዝ ዶፒንግ

ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን እና የተቀናጁ ወረዳዎችን በማምረት የተወሰኑ ቆሻሻዎች ወደ ሴሚኮንዳክተር ቁሶች እንዲገቡ በማድረግ የሚፈለገውን ኮንዳክሽን እና የመቋቋም አቅም እንዲሰጡ በማድረግ ተከላካይዎችን፣ የፒኤን መገናኛዎችን፣ የተቀበሩ ንብርብሮችን እና ሌሎች ቁሳቁሶችን ለማምረት ያስችላል። በዶፒንግ ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉት ጋዞች ዶፓንት ጋዞች ይባላሉ. እነዚህ ጋዞች በዋናነት አርሲን፣ ፎስፊን፣ ፎስፎረስ ትሪፍሎራይድ፣ ፎስፎረስ ፔንታፍሎራይድ፣ አርሴኒክ ትሪፍሎራይድ፣ አርሴኒክ ፔንታፍሎራይድ፣ቦሮን ትራይፍሎራይድ, እና ዲቦራኔ. የዶፓንት ምንጭ በተለምዶ ከምንጩ ካቢኔት ውስጥ ካለው ተያያዥ ጋዝ (እንደ አርጎን እና ናይትሮጅን ያሉ) ጋር ይደባለቃል። ከዚያም የተቀላቀለው ጋዝ ያለማቋረጥ ወደ ማከፋፈያ ምድጃ ውስጥ በመርፌ በቫፈር ዙሪያ ይሽከረከራል፣ ይህም ዶፓንቱን በዋፈር ወለል ላይ ያስቀምጣል። ከዚያም ዶፓንቱ ከሲሊኮን ጋር ምላሽ በመስጠት ወደ ሲሊኮን የሚፈልቅ የዶፓንት ብረት ይፈጥራል።

ኤፒታክሲያል የእድገት ጋዝ ድብልቅ

ኤፒታክሲያል እድገት አንድ ነጠላ ክሪስታል ንጥረ ነገር በንዑስ ወለል ላይ የማስቀመጥ እና የማደግ ሂደት ነው። በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ በጥንቃቄ በተመረጠው ንጣፍ ላይ የኬሚካል ትነት ክምችት (ሲቪዲ) በመጠቀም አንድ ወይም ከዚያ በላይ የንብርብሮች ንብርቦችን ለማልማት የሚያገለግሉ ጋዞች ኤፒታክሲያል ጋዞች ይባላሉ። የተለመዱ የሲሊኮን ኤፒታክሲያል ጋዞች ዳይሃይድሮጅን ዲክሎሮሲላን፣ ሲሊኮን ቴትራክሎራይድ እና ሳይላን ያካትታሉ። በዋነኛነት ለኤፒታክሲያል ሲሊከን ማስቀመጫ፣ ፖሊክሪስታሊን ሲሊንኮን ማስቀመጫ፣ የሲሊኮን ኦክሳይድ ፊልም ማስቀመጫ፣ የሲሊኮን ኒትራይድ ፊልም አቀማመጥ፣ እና አሞርፎስ የሲሊኮን ፊልም ለፀሀይ ህዋሶች እና ለሌሎች የፎቶ ሰሚ መሳሪያዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ።

ion መትከል ጋዝ

በሴሚኮንዳክተር መሳሪያ እና በተቀናጀ የወረዳ ማምረቻ ውስጥ, በ ion ተከላ ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉት ጋዞች በጋራ ion ተከላ ጋዞች ይባላሉ. ionized ቆሻሻዎች (እንደ ቦሮን፣ ፎስፎረስ እና አርሴኒክ ions ያሉ) ወደ ንኡስ ፕላስቲቱ ከመትከላቸው በፊት ወደ ከፍተኛ የኢነርጂ መጠን ይጣደፋሉ። የ ion implantation ቴክኖሎጂ በአብዛኛው ጥቅም ላይ የሚውለው የመነሻ ቮልቴጅን ለመቆጣጠር ነው. የተተከሉ ቆሻሻዎች መጠን የ ion beam current በመለካት ሊታወቅ ይችላል. ion ተከላ ጋዞች በተለምዶ ፎስፈረስ፣ አርሴኒክ እና ቦሮን ጋዞችን ያጠቃልላሉ።

የተደባለቀ ጋዝ ማሳከክ

ማሳከክ በፎቶሪሲስት ያልተሸፈነውን ንጣፍ (እንደ ብረት ፊልም ፣ ሲሊኮን ኦክሳይድ ፊልም ፣ ወዘተ.) በፎቶሪሲስት ጭምብል ባልተሸፈነው ንጣፍ ላይ ፣ በፎቶሪሲስት ጭምብል የተከለለበትን ቦታ በመጠበቅ ፣ በመሬት ወለል ላይ የሚፈለገውን የምስል ንድፍ ለማግኘት ሂደት ነው ።

የኬሚካል የእንፋሎት ማጠራቀሚያ ጋዝ ድብልቅ

የኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) አንድ ንጥረ ነገር ወይም ውህድ በእንፋሎት-ደረጃ ኬሚካላዊ ምላሽ ለማስቀመጥ ተለዋዋጭ ውህዶችን ይጠቀማል። ይህ የእንፋሎት-ደረጃ ኬሚካላዊ ምላሾችን የሚጠቀም የፊልም መፈጠር ዘዴ ነው። ጥቅም ላይ የዋሉ የሲቪዲ ጋዞች እንደ ፊልም ዓይነት ይለያያሉ.