ልዩ ጋዞችከአጠቃላይ የተለየየኢንዱስትሪ ጋዞችልዩ አጠቃቀሞች ስላሏቸው እና በተወሰኑ መስኮች ላይ ስለሚተገበሩ። ለንፅህና፣ ለርኩሰት ይዘት፣ ለስብጥር እና ለአካላዊ እና ለኬሚካላዊ ባህሪያት የተወሰኑ መስፈርቶች አሏቸው። ከኢንዱስትሪ ጋዞች ጋር ሲነፃፀሩ፣ ልዩ ጋዞች በዓይነታቸው የበለጠ የተለያዩ ናቸው ነገር ግን አነስተኛ የምርት እና የሽያጭ መጠን አላቸው።

የየተቀላቀሉ ጋዞችእናመደበኛ የመለኪያ ጋዞችበተለምዶ የምንጠቀማቸው የልዩ ጋዞች አስፈላጊ ክፍሎች ናቸው። የተቀላቀሉ ጋዞች ብዙውን ጊዜ በአጠቃላይ የተቀላቀሉ ጋዞች እና በኤሌክትሮኒክ የተቀላቀሉ ጋዞች ይከፈላሉ።

የተለመዱ የተቀላቀሉ ጋዞች የሚከተሉትን ያካትታሉ:የሌዘር ድብልቅ ጋዝ፣ የመሳሪያ ማወቂያ ድብልቅ ጋዝ፣ የተቀላቀለ ጋዝ ብየዳ፣ የተቀላቀለ ጋዝ ጥበቃ፣ የኤሌክትሪክ ብርሃን ምንጭ የተቀላቀለ ጋዝ፣ የሕክምና እና ባዮሎጂካል ምርምር የተቀላቀለ ጋዝ፣ ዲሳይንሲኔሽን እና ማምከን የተቀላቀለ ጋዝ፣ የመሳሪያ ማንቂያ የተቀላቀለ ጋዝ፣ ከፍተኛ ግፊት ያለው የተቀላቀለ ጋዝ እና ዜሮ-ደረጃ አየር።

የኤሌክትሮኒክስ የጋዝ ድብልቆች የኤፒታክሲያል የጋዝ ድብልቆችን፣ የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ የጋዝ ድብልቆችን፣ የዶፒንግ የጋዝ ድብልቆችን፣ የኤቺንግ ጋዝ ድብልቆችን እና ሌሎች የኤሌክትሮኒክስ የጋዝ ድብልቆችን ያካትታሉ። እነዚህ የጋዝ ድብልቆች በሴሚኮንዳክተር እና በማይክሮኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ የማይተካ ሚና የሚጫወቱ ሲሆን በትላልቅ የተቀናጀ ዑደት (LSI) እና በጣም ትልቅ ደረጃ ባለው የተቀናጀ ዑደት (VLSI) ማምረቻ እንዲሁም በሴሚኮንዳክተር መሳሪያ ምርት ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ።

5 የኤሌክትሮኒክስ ድብልቅ ጋዞች ዓይነቶች በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉ

የተቀላቀለ ጋዝ ዶፒንግ

የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን እና የተቀናጁ ሰርኩዊቶችን በማምረት፣ የተወሰኑ ቆሻሻዎች ወደ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶች ውስጥ በመግባት የተፈለገውን የኮንክሪት እና የመቋቋም አቅም ይሰጣሉ፣ ይህም ተቃዋሚዎችን፣ የፒኤን መጋጠሚያዎችን፣ የተቀበሩ ንብርብሮችን እና ሌሎች ቁሳቁሶችን ማምረት ያስችላል። በዶፒንግ ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉት ጋዞች ዶፓንት ጋዞች ይባላሉ። እነዚህ ጋዞች በዋናነት አርሲን፣ ፎስፌን፣ ፎስፈረስ ትሪፍሎሮይድ፣ ፎስፈረስ ፔንታፍሎሮይድ፣ አርሴኒክ ትሪፍሎሮይድ፣ አርሴኒክ ፔንታፍሎሮይድ፣ቦሮን ትሪፍሎራይድእና ዲቦራን። የዶፓንት ምንጭ በተለምዶ ከምንጭ ካቢኔት ውስጥ ካለው ተሸካሚ ጋዝ (እንደ አርጎን እና ናይትሮጅን ያሉ) ጋር ይቀላቀላል። ከዚያም የተቀላቀለው ጋዝ በተከታታይ ወደ ስርጭት ምድጃ ውስጥ ይወጋና በዋፈር ዙሪያ ይዘዋወራል፣ ዶፓንትቱን በዋፈር ወለል ላይ ያስቀምጣል። ከዚያም ዶፓንት ከሲሊኮን ጋር ምላሽ በመስጠት ወደ ሲሊኮን የሚሸጋገር ዶፓንት ብረት ይፈጥራል።

የኤፒታክሲያል እድገት ጋዝ ድብልቅ

ኤፒታክሲያል እድገት አንድ ክሪስታል ቁስ ወደ ንጣፍ ወለል ላይ የማስቀመጥ እና የማደግ ሂደት ነው። በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ፣ በጥንቃቄ በተመረጠ ንጣፍ ላይ የኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) በመጠቀም አንድ ወይም ከዚያ በላይ የቁስ ንብርብሮችን ለማብቀል የሚያገለግሉ ጋዞች ኤፒታክሲያል ጋዞች ይባላሉ። የተለመዱ የሲሊኮን ኤፒታክሲያል ጋዞች ዳይሃይድሮጂን ዲክሎሮሲላን፣ ሲሊኮን ቴትራክሎራይድ እና ሲላን ያካትታሉ። እነዚህ ጋዞች በዋናነት ለኤፒታክሲያል ሲሊኮን ክምችት፣ ለፖሊክሪስታሊን ሲሊከን ክምችት፣ ለሲሊኮን ኦክሳይድ ፊልም ክምችት፣ ለሲሊኮን ናይትራይድ ፊልም ክምችት እና ለፀሐይ ሴሎች እና ለሌሎች ፎቶሴንሲቲቭ መሳሪያዎች አሞርፎስ ሲሊከን ፊልም ክምችት ያገለግላሉ።

የአዮን ተከላ ጋዝ

በሴሚኮንዳክተር መሳሪያ እና በተቀናጀ የወረዳ ማምረቻ ውስጥ፣ በአዮን ተከላ ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ጋዞች በአጠቃላይ የአዮን ተከላ ጋዞች ተብለው ይጠራሉ። (እንደ ቦሮን፣ ፎስፈረስ እና አርሴኒክ አየኖች ያሉ) አዮናይዝድ የሆኑ ቆሻሻዎች ወደ ንጣፉ ውስጥ ከመተከላቸው በፊት ወደ ከፍተኛ የኃይል ደረጃ ይጣደፋሉ። የአዮን ተከላ ቴክኖሎጂ የወሰን ቮልቴጅን ለመቆጣጠር በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። የተተከሉ ቆሻሻዎች መጠን የአዮን ጨረር ፍሰትን በመለካት ሊታወቅ ይችላል። የአዮን ተከላ ጋዞች በተለምዶ ፎስፈረስ፣ አርሴኒክ እና ቦሮን ጋዞችን ያካትታሉ።

የተቀላቀለ ጋዝ ማቃጠል

ኢቺንግ ማለት በፎቶሪዚስት ያልተሸፈነውን ወለል (እንደ ብረት ፊልም፣ ሲሊኮን ኦክሳይድ ፊልም፣ ወዘተ) በፎቶሪዚስት የተሸፈነውን ቦታ በመጠበቅ በንጣፉ ወለል ላይ አስፈላጊውን የምስል ንድፍ ለማግኘት የሚደረግ ሂደት ነው።

የኬሚካል ትነት ማስወገጃ የጋዝ ድብልቅ

የኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) ተለዋዋጭ ውህዶችን በመጠቀም አንድን ንጥረ ነገር ወይም ውህድ በእንፋሎት-ደረጃ የኬሚካል ምላሽ በኩል ለማስገባት ይጠቀማል። ይህ የእንፋሎት-ደረጃ የኬሚካል ምላሾችን የሚጠቀም የፊልም መፍጠሪያ ዘዴ ነው። ጥቅም ላይ የዋሉት የሲቪዲ ጋዞች በሚፈጠረው የፊልም አይነት ይለያያሉ።