ሃይድሮጂን ክሎራይድቀለም የሌለው ጋዝ ሲሆን የሚነድ ሽታ አለው። የውሃ መፍትሄው ሃይድሮክሎሪክ አሲድ ተብሎም ይጠራል፣ ሃይድሮክሎሪክ አሲድ በመባልም ይታወቃል። ሃይድሮጂን ክሎራይድ በውሃ ውስጥ በጣም የሚሟሟ ነው። በ0°ሴ፣ 1 የውሃ መጠን 500 የሚያህሉ የሃይድሮጂን ክሎራይድ መጠኖችን ሊሟሟ ይችላል።

የሚከተሉት ባህሪያት እና ባህሪያት አሉት:

1. ከፍተኛ ንፅህና

የኤሌክትሮኒክ ደረጃ ንፅህናሃይድሮጂን ክሎራይድበጣም ከፍተኛ ነው፣ ብዙውን ጊዜ በ ppm ወይም በዝቅተኛ ደረጃ፣ ይህም በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ ምንም አይነት ቆሻሻ እንዳይገባ ለማረጋገጥ ነው።

2. መረጋጋት

ከሌሎች ብዙ ንጥረ ነገሮች ጋር የማይገናኝ በኬሚካል የማይንቀሳቀስ ጋዝ ሲሆን ይህም የሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶችን እና መሳሪያዎችን ብክለት ለመከላከል በጣም አስፈላጊ ነው።

3. ከፍተኛ መረጋጋት

የኤሌክትሮኒክ ደረጃሃይድሮጂን ክሎራይድበአጠቃላይ አስተማማኝ የሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያን ለማረጋገጥ የተረጋጋ ኬሚስትሪ አለው።

በሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ ውስጥ የኤሌክትሮኒክ ደረጃ ሃይድሮጂን ክሎራይድ ዋና አተገባበር የሚከተሉትን ያካትታል:

1. የወለል ጽዳት እና ዝግጅት

እንደ ውጤታማ የወለል ማጽጃ፣ ኤሌክትሮኒክ ደረጃሃይድሮጂን ክሎራይድየኤፒታክሲያል ንብርብር ወይም ፊልም ጥራት እና ንፅህናን ለማረጋገጥ ከንጣፉ ወለል ላይ ኦክሳይድን እና ቆሻሻዎችን ለማስወገድ ይጠቅማል።

2. ኤፒታክሲያል የእድገት እርዳታ

በኤፒታክሲያል ሂደት ውስጥ እንደ ወለል ህክምና ወኪል ሆኖ የሚያገለግል ሲሆን የኤፒታክሲያል ንብርብርን ጥራት ለማሻሻል፣ የላቲስ ማመሳሰልን ለማሻሻል እና የላቲስ ጉድለቶችን መፈጠር ለመቀነስ ይረዳል።

3. የንዑስ ክፍል ቅድመ-ህክምና

የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ከማዘጋጀትዎ በፊት የኤሌክትሮኒክ ደረጃሃይድሮጂን ክሎራይድበኤፒታክሲያል ንብርብር እና በንጣፉ መካከል ያለውን ማጣበቂያ ለማሻሻል የተረጋጋ መሠረት ለመፍጠር የንጣፉን ወለል ለማከም ሊያገለግል ይችላል።

4. የማስቀመጫ ረዳት ወኪል

በኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) ወይም በአካላዊ ትነት ክምችት (PVD) ሂደት ውስጥ፣ የኤሌክትሮኒክ ደረጃ ሃይድሮጂን ክሎራይድ እንደ ጋዝ ደረጃ ማስተላለፊያ መካከለኛ ሆኖ በሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶች የማስቀመጫ ምላሽ ውስጥ ለመሳተፍ ሊያገለግል ይችላል።

5. የጋዝ-ደረጃ ማስተላለፊያ ወኪል

እንደ ጋዝ-ደረጃ ማስተላለፊያ ወኪል፣ ሌሎች የጋዝ ቅድመ-ግምቶች ወደ ምላሽ ሰጪ ክፍሉ ውስጥ ይገባሉ፣ ይህም የቁሳቁሱን የመቀመጫ መጠን እና ወጥነት ለማስተካከል ይረዳል።

እነዚህ ባህሪያት የኤሌክትሮኒክ ደረጃን ይፈጥራሉሃይድሮጂን ክሎራይድበሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ ውስጥ አስፈላጊ የማቀነባበሪያ ወኪል ሲሆን ይህም በመጨረሻው መሣሪያ አፈፃፀም እና አስተማማኝነት ላይ ቁልፍ ተጽዕኖ ያሳድራል።

በሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ ውስጥ ከመጠቀም በተጨማሪ፣ የኤሌክትሮኒክስ ደረጃ ሃይድሮጂን ክሎራይድ በሌሎች አካባቢዎች የተለያዩ አጠቃቀሞችን ሊያገኝ ይችላል፣ ከእነዚህም ውስጥ የሚከተሉት ይገኙበታል፡- ከፍተኛ ንፅህና ያላቸውን ቁሳቁሶች ማዘጋጀት፣ የነዳጅ ሴሎች፣ የሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ እድገት፣ የእንፋሎት ደረጃ ሊቶግራፊ፣ የቁሳቁስ ትንተና፣ የኬሚካል ምርምር።

በአጠቃላይ፣ የኤሌክትሮኒክ ደረጃሃይድሮጂን ክሎራይድከሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውጭ የተለያዩ አፕሊኬሽኖች ያሉት ሁለገብ፣ ከፍተኛ ንፁህ ጋዝ ነው።