ሃይድሮጂን ክሎራይድደስ የማይል ሽታ ያለው ቀለም የሌለው ጋዝ ነው። የውሃ መፍትሄው ሃይድሮክሎሪክ አሲድ ተብሎም ይጠራል, ሃይድሮክሎሪክ አሲድ ተብሎም ይታወቃል. ሃይድሮጅን ክሎራይድ በውሃ ውስጥ በጣም የሚሟሟ ነው. በ 0 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ ውስጥ, 1 የውሃ መጠን ወደ 500 ጥራዞች ሃይድሮጂን ክሎራይድ ሊሟሟ ይችላል.

የሚከተሉት ባህሪያት እና ባህሪያት አሉት.

1. ከፍተኛ ንጽሕና

የኤሌክትሮኒክ ደረጃ ንፅህናሃይድሮጂን ክሎራይድበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ ምንም አይነት ቆሻሻ አለመግባቱን ለማረጋገጥ አብዛኛውን ጊዜ በፒፒኤም ወይም ዝቅተኛ ደረጃ በጣም ከፍተኛ ነው።

2. ግትርነት

ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶችን እና መሳሪያዎችን መበከል ለመከላከል በጣም አስፈላጊ የሆነው ከብዙ ሌሎች ንጥረ ነገሮች ጋር የማይሰራ ኬሚካላዊ የማይነቃነቅ ጋዝ ነው.

3. ከፍተኛ መረጋጋት

የኤሌክትሮኒክ ደረጃሃይድሮጂን ክሎራይድበአጠቃላይ አስተማማኝ ሴሚኮንዳክተር ሂደትን ለማረጋገጥ የተረጋጋ ኬሚስትሪ አለው።

በሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ ውስጥ የኤሌክትሮኒካዊ ደረጃ ሃይድሮጂን ክሎራይድ ዋና አፕሊኬሽኖች የሚከተሉትን ያካትታሉ:

1. የገጽታ ማጽዳት እና ዝግጅት

እንደ ቀልጣፋ የገጽታ ማጽጃ፣ ኤሌክትሮኒክ ደረጃሃይድሮጂን ክሎራይድየኤፒታክሲያል ንብርብር ወይም ፊልም ጥራት እና ንፅህናን ለማረጋገጥ ኦክሳይድን እና ቆሻሻዎችን ከስር ወለል ላይ ለማስወገድ ይጠቅማል።

2.Epitaxial እድገት እርዳታ

በኤፒታክሲያል ሂደት ውስጥ እንደ ወለል ማከሚያ ወኪል ጥቅም ላይ ይውላል, የ epitaxial ንብርብርን ጥራት ለማሻሻል, የላቲስ ማዛመድን ለማሻሻል እና የላቲስ ጉድለቶችን ለመፍጠር ይረዳል.

3. የከርሰ ምድር ቅድመ አያያዝ

ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ከመዘጋጀቱ በፊት, ኤሌክትሮኒካዊ ደረጃሃይድሮጂን ክሎራይድበ epitaxial ንብርብር እና በንጥረ ነገሮች መካከል ያለውን ማጣበቂያ ለማሻሻል የተረጋጋ መሠረት ለመፍጠር የንጥረ-ነገርን ወለል ለማከም ሊያገለግል ይችላል።

4. የማስቀመጫ ረዳት ወኪል

በኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (ሲቪዲ) ወይም በአካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (PVD) ሂደት ውስጥ, የኤሌክትሮኒካዊ ደረጃ ሃይድሮጂን ክሎራይድ እንደ ጋዝ ደረጃ ማስተላለፊያ መካከለኛ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶችን በማስቀመጥ ላይ ለመሳተፍ ሊያገለግል ይችላል.

5. ጋዝ-ደረጃ ማስተላለፊያ ወኪል

እንደ ጋዝ-ደረጃ ማስተላለፊያ ወኪል፣ የቁሳቁስን የማስቀመጫ መጠን እና ተመሳሳይነት ለማስተካከል የሚረዱ ሌሎች የጋዝ ቀዳሚዎች ወደ ምላሽ ክፍሉ ውስጥ ይገባሉ።

እነዚህ ባህሪያት ኤሌክትሮኒካዊ ደረጃን ያመጣሉሃይድሮጂን ክሎራይድበሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ ውስጥ አስፈላጊ የማቀነባበሪያ ወኪል, ይህም በመጨረሻው መሣሪያ አፈጻጸም እና አስተማማኝነት ላይ ቁልፍ ተጽእኖ አለው.

በሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ ውስጥ ከመጠቀም በተጨማሪ የኤሌክትሮኒካዊ ደረጃ ሃይድሮጂን ክሎራይድ በሌሎች አካባቢዎች የተለያዩ አጠቃቀሞችን ማግኘት ይችላል-ከፍተኛ የንፅህና ቁሶችን ማዘጋጀት ፣ የነዳጅ ሴሎች ፣ ሴሚኮንዳክተር ቁሳዊ እድገት ፣ የእንፋሎት ደረጃ ሊቶግራፊ ፣ የቁሳቁስ ትንተና ፣ ኬሚካዊ ምርምር።

በአጠቃላይ የኤሌክትሮኒክስ ደረጃሃይድሮጂን ክሎራይድከሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውጭ ሰፊ አፕሊኬሽኖች ያሉት ሁለገብ፣ ከፍተኛ ንፁህ ጋዝ ነው።