በማኑፋካክ ልማት ሂደት ውስጥ በአንፃራዊነት የተለዩ የምርት ሂደቶች በአንጻራዊ ሁኔታ የተለዩ የምርት ሂደቶች, ወደ 50 የሚጠጉ የተለያዩ ጋዞች ዓይነቶች ያስፈልጋሉ. ጋዞች በአጠቃላይ በጅምላ ጋዞች ይከፈላሉ እናልዩ ጋዞች.

በ MicrosalNesnesicess እና ሴሚሚዶንግሪተር ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ጋዞችን መጠቀም ሁል ጊዜ በሴሚኮዲዩሩ ሂደቶች ውስጥ ሁል ጊዜ በሴሚኮዲንግ ሂደቶች ውስጥ ትልቅ ሚና ተጫውተዋል, በተለይም ሴሚሚዶቹ ሂደቶች በተለያዩ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ በሰፊው ያገለግላሉ. ከአሁኑ ጥቃቅን ኤሌክትሮሜካኒካል (ሜምበርድ) ኢንዱስትሪ, የ SEMCODEDRED ሂደቶች, ደረቅ ጩኸት, ኦክሳይድ, ጊልጭት, ቀጫጭን ፊልም ተቀማጭነት, ወዘተ.

ለምሳሌ, ቺፖች ከአሸዋ እንደሚሠሩ, ግን የቺፕ ማኑፋች ሥራን በመመልከት, እንደ ፎቶግራፎች አጠቃላይ ሂደቱን በመመልከት, እንደ ፎቶግራፍ, የደም መፍሰስ ፈሳሽ, ልዩ ጋዝ, ወዘተ የመሳሰሉ ተጨማሪ ቁሳቁሶች አስፈላጊ ናቸው. የኋላ-መጨረሻ ማሸግ እንዲሁ ንጥረ ነገሮችን, መጓጓዣዎችን, መሪ ክፈፎችን, የመሪነት ክፈፎችን, የወንጀል ቁሳቁሶችን, የወንጀል ቁሳቁሶችን, ወዘተ. የኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዞች በሲሚሲንገር ማምረቻዎች የማምረቻ ወጪዎች, ጭምብሎች እና ፎቶግራፎች ከተከተሉ በኋላ.

የጋዝ ንፅህና በክፍል አፈፃፀም እና በምርት ምርት ላይ ወሳኝ ተጽዕኖ አለው, እናም የጋዝ አቅርቦት ደህንነት ከሠራተኞች ጤና እና ከፋብሪካ ኦዲት ደህንነት ጋር የተቆራኘ ነው. የጋዝ ንፅህና በሂደቱ መስመር እና በሠራተኞች ላይ እንዲህ ያለ ትልቅ ተጽዕኖ ያሳደረው ለምንድነው? ይህ የተጋነነ አይደለም, ግን በጋዝ ራሱ አደገኛ ባህሪዎች የሚወሰን ነው.

በሴሚኮንድሩ ኢንዱስትሪ ኢንዱስትሪ ውስጥ የተለመዱ ጋዞችን መመደብ

ተራ ጋዝ

ተራ ጋዝ የጅምላ ጋዝ ተብሎም ይጠራል-ከ 5N እና ከአንድ ትልቅ ምርት እና ከአንድ ትልቅ ምርት እና ከሽያጭ መጠን በታች የሆነ የኢንዱስትሪ ጋዝ ነው. በተለያዩ የዝግጅት ዘዴዎች መሠረት በአየር መለያየት ጋዝ እና በባህላዊ ጋዝ ውስጥ ሊከፋፈል ይችላል. ሃይድሮጂን (ኤች.2), ናይትሮጂን (NATEGEN (N2), ኦክስጅንን (ኦ 2), ARGON (A2), ወዘተ.

ልዩ ጋዝ

ልዩ ጋዝ በተወሰኑ መስኮች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለውን የኢንዱስትሪ ጋዝ ያመለክታል እናም ለንጹህ, ለክፍሎች እና ለንፅታዎች ልዩ መስፈርቶች አሉት. በዋናነትSih4, PH3, B2H6, A8H3,ኤች.ሲ.ኤል., CF4,Nh3, Pocl3, sih2cl2, Sihcl3,Nh3, BCL3, Sif4, CLEFS, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HF, HF,Sf6... እና የመሳሰሉት.

የአቅራቢያ ጋዞች ዓይነቶች

የልዩ ጋዞች ዓይነቶች: - የቆሻሻ, መርዛማ, መርዛማ, ተቀጣጣይ, ተደግፋድ, የአካል ብቃት እንቅስቃሴ, ወዘተ.
በተለምዶ ጥቅም ላይ የሚውሉ የሴሚኮንድገር ጋዎች እንደሚከተለው ይመደባሉ-
(i) መሮጥ / መርዛማኤች.ሲ.ኤል., ቢኤፍ 3, WF6, HBR, Sih2cl2, NH3, PH3, NH3,BCL3...
(ii) ተቀጣጣይ: H2,Ch4,,Sih4, PH3, Ash3, Sih2cl2, B2H6, Ch2f2, Ch3f, CO ...
(iii) ተቀጣጣኝ ለውጥ - O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) inter: n2,CF4, C2F6,C4F8,,Sf6, CO2,Ne,,Kr, እሱ ...

በሴሚኮንድገር ቺፕ ማምረት ሂደት ውስጥ 50 የተለያዩ ጋዞችን (እንደ ልዩ ጋዞች የተጠቁ> በመሆኑ, በመዘግየት, በመርፌ, በፋ ፎቶግራፊያው እና በሌሎች ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ. ለምሳሌ, PH3 እና ASH3 በአይኔስ መሻገሪያ ሂደት, በ F- ላይ የተመሰረቱ ጋዎች CI2, ቢኤንኤንኤች, ኤች.አይ.ቪ., ኤች.አይ.ቪ. ኤ.ሲ.ሲ.

ከላይ ከተዘረዘሩት ገጽታዎች ብዙ የ SEMCODUDURES ጋዞች ለሰው አካል ጎጂ መሆናቸውን መገንዘብ እንችላለን. በተለይም, እንደ Sih4 ያሉ ጋዞችን አንዳንዶቹ በራስ የመተማመን ስሜት አላቸው. ሲደጉ, በአየር ውስጥ ኦክስጂን በኃይለኛነት ይሰጡታል እና ማቃጠል ይጀምራሉ. እና ASH3 በጣም መርዛማ ነው. ማንኛውም ትንሽ ትንታኔ በሰዎች ህይወት ላይ ጉዳት ሊያደርስ ይችላል, ስለሆነም ለልዩ ጋዞችን ለመጠቀም የቁጥጥር ንድፍ ንድፍን የሚጠብቁ መስፈርቶች በተለይ ከፍተኛ ናቸው.

ሴሚኮኖንካካቶች ከፍተኛ የጽዳት ሰዶማውያን "ሦስት ዲግሪዎች" ይፈልጋሉ

የጋዝ ንፅህና

በጋዝ ውስጥ ርኩሰት ይዘት ብዙውን ጊዜ እንደ 99.999% ያሉ የጋዝ ንፅፅር መቶኛ ይገለጻል. በጥቅሉ ሲታይ, የኤሌክትሮኒክ ልዩ ጋዞችን የመንጻት ፍላጎት 5n -6 ይደርሳል, እንዲሁም በምሳሌያዊ ሁኔታ የቦታ መጠን (ክፍል) የኤሌክትሮኒክ ሴሚኮንዱገር መስክ ልዩ ጋዞች ንፅህና እና የጥራት መረጋጋት ከፍተኛ ፍላጎቶች አሉት, እና የኤሌክትሮኒክ ልዩ ጋዞች ንፅህና ከ 6N የሚበልጥ ነው.

ደረቅነት

በጋዝ ወይም እርጥብ ውስጥ የውሃ ውኃን ይዘቶች, ብዙውን ጊዜ እንደ የከባቢ አየር ነጥብ ማለትም እንደ የከባቢ ነጥብ -70 ℃ ያሉ በጡት ነጥብ ይገለጻል.

ንፅህና

በጋዝ ውስጥ ያለው የብልት ቅንጣቶች ብዛት, በ μm ቅንጣቶች ያለው ቅንጣቶች ብዛት ስንት ቅንጣቶች / M3 ውስጥ ይገለጻል. ለተሳሳተ አየር, የአሮማ ይዘትን የሚያካትት በ MG / M3 ውስጥ የማይቻል ነው.