ሴሚኮንዳክተር ዋፈር ፋውንዴሽን በአንፃራዊነት የላቁ የምርት ሂደቶችን በማምረት ሂደት ወደ 50 የሚጠጉ የተለያዩ ጋዞች ያስፈልጋሉ። ጋዞች በአጠቃላይ በጅምላ ጋዞች የተከፋፈሉ እናልዩ ጋዞች.

በማይክሮ ኤሌክትሮኒክስ እና ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪዎች ውስጥ የጋዞች አተገባበር የጋዞች አጠቃቀም በሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ ሁል ጊዜ ትልቅ ሚና ተጫውቷል ፣ በተለይም ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች በተለያዩ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ። ከ ULSI, TFT-LCD እስከ የአሁኑ ማይክሮ ኤሌክትሮሜካኒካል (MEMS) ኢንዱስትሪ, ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች እንደ የምርት ማምረቻ ሂደቶች ጥቅም ላይ ይውላሉ, እንደ ደረቅ ኢኬቲንግ, ኦክሳይድ, ion implantation, ስስ የፊልም ማስቀመጫ, ወዘተ.

ለምሳሌ ፣ ብዙ ሰዎች ቺፕስ ከአሸዋ የተሠሩ መሆናቸውን ያውቃሉ ፣ ግን አጠቃላይ የቺፕ ማምረቻውን ሂደት ስንመለከት ፣ እንደ ፎቶሪሲስት ፣ የሚያብረቀርቅ ፈሳሽ ፣ የታለመ ቁሳቁስ ፣ ልዩ ጋዝ ፣ ወዘተ የመሳሰሉት ተጨማሪ ቁሳቁሶች ያስፈልጋሉ ። የኋላ-መጨረሻ ማሸግ እንዲሁ የተለያዩ ቁሳቁሶች ተተኪዎች ፣ interposers ፣ እርሳስ ፍሬሞች ፣ ማያያዣ ቁሳቁሶች ፣ ወዘተ ይፈልጋል ። የኤሌክትሮኒካዊ ልዩ ጋዞች ከሲሊኮን ዋይፈርስ በኋላ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ወጪዎች ውስጥ ሁለተኛው ትልቅ ቁሳቁስ ናቸው ፣ ከዚያ በኋላ ጭምብል እና የፎቶ መከላከያዎች።

የጋዝ ንፅህና በአካላት አፈፃፀም እና የምርት ምርት ላይ ወሳኝ ተጽእኖ አለው, እና የጋዝ አቅርቦት ደህንነት ከሠራተኞች ጤና እና ከፋብሪካው አሠራር ደህንነት ጋር የተያያዘ ነው. የጋዝ ንፅህና በሂደቱ መስመር እና በሠራተኞች ላይ ከፍተኛ ተጽዕኖ የሚያሳድረው ለምንድነው? ይህ ማጋነን አይደለም, ነገር ግን በራሱ በጋዝ አደገኛ ባህሪያት ይወሰናል.

በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የተለመዱ ጋዞች ምደባ

የተለመደው ጋዝ

ተራ ጋዝ የጅምላ ጋዝ ተብሎም ይጠራል፡ ከ 5N በታች የሆነ የንፅህና ፍላጎት ያለው የኢንዱስትሪ ጋዝ እና ትልቅ የምርት እና የሽያጭ መጠንን ያመለክታል። በተለያዩ የዝግጅት ዘዴዎች መሰረት በአየር መለያየት ጋዝ እና ሰው ሰራሽ ጋዝ ሊከፋፈል ይችላል. ሃይድሮጅን (H2), ናይትሮጅን (N2), ኦክስጅን (O2), argon (A2), ወዘተ.

ልዩ ጋዝ

ልዩ ጋዝ የሚያመለክተው በተወሰኑ መስኮች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውል እና ለንጽህና, ልዩነት እና ባህሪያት ልዩ መስፈርቶች ያለው የኢንዱስትሪ ጋዝ ነው. በዋናነትሲኤች 4PH3፣ B2H6፣ A8H3፣ኤች.ሲ.ኤል, CF4,NH3፣ POCL3 ፣ SIH2CL2 ፣ SIHCL3 ፣NH3, BCL3፣ SIF4፣ CLF3፣ CO፣ C2F6፣ N2O፣ F2፣ HF፣ HBR፣ኤስኤፍ6… እና የመሳሰሉት።

የቅመም ጋዞች ዓይነቶች

የልዩ ጋዞች ዓይነቶች: የሚበላሹ, መርዛማዎች, ተቀጣጣይ, ማቃጠል-ደጋፊ, የማይነቃነቅ, ወዘተ.
በብዛት ጥቅም ላይ የዋሉ ሴሚኮንዳክተር ጋዞች በሚከተለው ይከፈላሉ
(i) የሚበላሽ/መርዛማ፡ኤች.ሲ.ኤልBF3፣ WF6፣HBr፣SiH2Cl2፣NH3፣PH3፣Cl2፣BCl3…
(ii) ተቀጣጣይ፡ H2፣CH4,ሲኤች 4PH3፣AsH3፣SiH2Cl2፣B2H6፣CH2F2፣CH3F፣CO…
(iii) ተቀጣጣይ፡ O2፣Cl2፣N2O፣NF3…
(iv) ኢነርት፡ N2፣ሲኤፍ4C2F6፣C4F8,ኤስኤፍ6CO2፣Ne,Krእሱ…

በሴሚኮንዳክተር ቺፕ ማምረቻ ሂደት ውስጥ ወደ 50 የሚጠጉ ልዩ ልዩ ጋዞች (ልዩ ጋዞች ተብለው ይጠራሉ) በኦክሳይድ ፣ ስርጭት ፣ ተቀማጭ ፣ ማሳከክ ፣ መርፌ ፣ ፎቶሊቶግራፊ እና ሌሎች ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ እና አጠቃላይ የሂደቱ ደረጃዎች በመቶዎች የሚቆጠሩ ናቸው። ለምሳሌ, PH3 እና AsH3 በአዮን የመትከል ሂደት ውስጥ እንደ ፎስፈረስ እና የአርሴኒክ ምንጮች ጥቅም ላይ ይውላሉ, F-based ጋዞች CF4, CHF3, SF6 እና halogen Gases CI2, BCI3, HBr በ Etching ሂደት ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉ, SiH4, NH3, N2O in የማስቀመጫ ፊልም ሂደት፣ F2/Kr/Ne፣ Kr/Ne በፎቶሊተግራፊ ሂደት።

ከላይ ከተጠቀሱት ገጽታዎች, ብዙ ሴሚኮንዳክተር ጋዞች በሰው አካል ላይ ጎጂ እንደሆኑ መረዳት እንችላለን. በተለይም እንደ SiH4 ያሉ አንዳንድ ጋዞች እራሳቸውን ያቃጥላሉ. እስከሚፈሱ ድረስ በአየር ውስጥ ከኦክሲጅን ጋር በኃይል ምላሽ ይሰጣሉ እና ማቃጠል ይጀምራሉ; እና AsH3 በጣም መርዛማ ነው። ማንኛውም ትንሽ መፍሰስ በሰዎች ህይወት ላይ ጉዳት ሊያደርስ ይችላል, ስለዚህ ልዩ ጋዞችን ለመጠቀም የመቆጣጠሪያ ስርዓት ዲዛይን ደህንነት መስፈርቶች በተለይ ከፍተኛ ናቸው.

ሴሚኮንዳክተሮች "ሦስት ዲግሪዎች" እንዲኖራቸው ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው ጋዞች ያስፈልጋቸዋል.

የጋዝ ንፅህና

በጋዝ ውስጥ ያለው የንጽሕና ከባቢ አየር ይዘት አብዛኛውን ጊዜ እንደ ጋዝ ንፅህና በመቶኛ ይገለጻል, ለምሳሌ 99.9999%. በአጠቃላይ ለኤሌክትሮኒካዊ ልዩ ጋዞች የንጽህና መስፈርት 5N-6N ይደርሳል፣እናም በንፅህና የከባቢ አየር ይዘት ppm (ክፍል በአንድ ሚሊዮን) ፣ ppb (ክፍል በአንድ ቢሊዮን) እና ppt (ክፍል በትሪሊዮን) መጠን ይገለጻል። የኤሌክትሮኒካዊ ሴሚኮንዳክተር መስክ ልዩ ጋዞች ንፅህና እና ጥራት ያለው መረጋጋት ከፍተኛ መስፈርቶች አሉት, እና የኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዞች ንፅህና በአጠቃላይ ከ 6N ይበልጣል.

ደረቅነት

በጋዝ ውስጥ ያለው የመከታተያ ውሃ ይዘት ወይም እርጥበታማነት ብዙውን ጊዜ የሚገለጸው በጠል ነጥብ ነው፣ ለምሳሌ በከባቢ አየር ጠል ነጥብ -70℃።

ንጽህና

በጋዝ ውስጥ ያሉ የብክለት ቅንጣቶች ብዛት፣ µm ቅንጣት ያላቸው ቅንጣቶች፣ ስንት ቅንጣቶች/M3 ውስጥ ተገልፀዋል። ለተጨመቀ አየር, ብዙውን ጊዜ በ mg / m3 ውስጥ ሊወገዱ በማይችሉ ጠንካራ ቅሪቶች ይገለጻል, ይህም የዘይት ይዘትን ያካትታል.