እ.ኤ.አ. በ 2018 ፣ ዓለም አቀፍ የኤሌክትሮኒክስ ጋዝ ገበያ የተቀናጁ ወረዳዎች US $ 4.512 ቢሊዮን ደርሷል ፣ ከዓመት-በዓመት የ 16% ጭማሪ። ለሴሚኮንዳክተሮች የኤሌክትሮኒካዊ ልዩ ጋዝ ኢንዱስትሪ ከፍተኛ ዕድገት እና ትልቅ የገበያ መጠን የኤሌክትሮኒካዊ ልዩ ጋዝ የአገር ውስጥ መተኪያ ዕቅድን አፋጥኗል!
ኤሌክትሮን ጋዝ ምንድን ነው?
የኤሌክትሮኒክስ ጋዝ ሴሚኮንዳክተሮችን፣ ጠፍጣፋ ፓነል ማሳያዎችን፣ ብርሃን አመንጪ ዳዮዶችን፣ የፀሐይ ህዋሶችን እና ሌሎች የኤሌክትሮኒክስ ምርቶችን ለማምረት ጥቅም ላይ የሚውለውን የመሠረታዊ ምንጭ ቁስን የሚያመለክት ሲሆን በጽዳት፣ በማሳፈፍ፣ በፊልም ምስረታ፣ በዶፒንግ እና በሌሎች ሂደቶች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። የኤሌክትሮኒካዊ ጋዝ ዋና የትግበራ ቦታዎች የኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪ ፣ የፀሐይ ሴሎች ፣ የሞባይል ግንኙነቶች ፣ የመኪና አሰሳ እና የመኪና ኦዲዮ እና ቪዲዮ ስርዓቶች ፣ ኤሮስፔስ ፣ ወታደራዊ ኢንዱስትሪ እና ሌሎች ብዙ መስኮችን ያጠቃልላል ።
የኤሌክትሮኒካዊ ልዩ ጋዝ እንደ የራሱ ኬሚካላዊ ቅንብር በሰባት ምድቦች ሊከፈል ይችላል-ሲሊኮን, አርሴኒክ, ፎስፎረስ, ቦሮን, ብረት ሃይድሬድ, ሃሎይድ እና ብረት አልኮክሳይድ. በተቀናጁ ወረዳዎች ውስጥ በተለያዩ የአተገባበር ዘዴዎች መሠረት በዶፒንግ ጋዝ ፣ ኤፒታክሲ ጋዝ ፣ ion implantation ጋዝ ፣ ብርሃን-አመንጪ diode ጋዝ ፣ ኢቲች ጋዝ ፣ የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ ጋዝ እና ሚዛን ጋዝ ሊከፋፈል ይችላል። በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ከ 110 በላይ ልዩ ጋዞች ጥቅም ላይ ይውላሉ, ከ 30 በላይ የሚሆኑት በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉ.
በአጠቃላይ ሴሚኮንዳክተር ምርት ኢንዱስትሪ ጋዞችን በሁለት ይከፍላል-የተለመዱ ጋዞች እና ልዩ ጋዞች። ከነሱ መካከል, በተለምዶ ጥቅም ላይ የዋለው ጋዝ የተማከለ አቅርቦትን የሚያመለክት እና ብዙ ጋዝ ይጠቀማል, ለምሳሌ N2, H2, O2, Ar, He, ወዘተ. ልዩ ጋዝ በሴሚኮንዳክተር ምርት ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ አንዳንድ የኬሚካል ጋዞችን ያመለክታል ኤክስቴንሽን፣ ion መርፌ፣ ማደባለቅ፣ ማጠብ እና ማስክ መፈጠር፣ እሱም አሁን የኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዝ ብለን የምንጠራው እንደ ከፍተኛ-ንፅህና ያለው SiH4፣ PH3፣ AsH3፣ B2H6፣ N2O፣ NH3፣ SF6፣ NF3፣ CF4፣ BCl3፣ BF3፣ HCl፣ Cl2፣ ወዘተ.
በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ አጠቃላይ የምርት ሂደት ውስጥ ከቺፕ እድገት እስከ የመጨረሻው መሳሪያ ማሸጊያ ድረስ እያንዳንዱ ማገናኛ ከኤሌክትሮኒካዊ ልዩ ጋዝ የማይነጣጠል ነው ፣ እና የተለያዩ ጥቅም ላይ የዋለ እና ከፍተኛ ጥራት ያለው ጋዝ ፣ የኤሌክትሮኒክስ ጋዝ ሴሚኮንዳክተር ቁሶች አሉት። "ምግብ".
ከቅርብ ዓመታት ወዲህ የቻይና ዋና ዋና የኤሌክትሮኒክስ ክፍሎች እንደ ሴሚኮንዳክተሮች እና የማሳያ ፓነሎች በአዲስ የማምረት አቅም ጨምረዋል ፣ እና የኤሌክትሮኒክስ ኬሚካል ቁሳቁሶችን ወደ ሀገር ውስጥ ለማስገባት ከፍተኛ ፍላጎት አለ። በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የኤሌክትሮኒክስ ጋዞች አቀማመጥ ከጊዜ ወደ ጊዜ እየጨመረ መጥቷል. የሀገር ውስጥ የኤሌክትሮኒክስ ጋዝ ኢንዱስትሪ ፈጣን እድገትን ያመጣል.
የኤሌክትሮኒካዊ ልዩ ጋዝ ለንፅህና በጣም ከፍተኛ መስፈርቶች አሉት ፣ ምክንያቱም ንፅህናው እስከ መስፈርቶቹ ድረስ ካልሆነ ፣ በኤሌክትሮኒካዊ ልዩ ጋዝ ውስጥ ያሉ እንደ የውሃ ትነት እና ኦክሲጅን ያሉ ርኩስ ቡድኖች በሴሚኮንዳክተር ላይ በቀላሉ ኦክሳይድ ፊልም ይፈጥራሉ ፣ የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች የአገልግሎት ዘመን እና የኤሌክትሮኒካዊ ልዩ ጋዝ በውስጡ የያዘው የቆሻሻ ቅንጣቶች ሴሚኮንዳክተር አጭር ዑደት እና የወረዳ ጉዳት ሊያስከትሉ ይችላሉ። የንጽህና መሻሻል ለኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ምርት ምርት እና አፈፃፀም ወሳኝ ሚና ይጫወታል ማለት ይቻላል.
ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ቀጣይነት ያለው እድገት ጋር, ቺፕ የማምረት ሂደት መሻሻል ይቀጥላል, እና አሁን 5nm ደርሷል ይህም የሞር ሕግ ገደብ ሊቃረብ ነው, ይህም የሰው ፀጉር ዲያሜትር አንድ-ሃያኛ (ሀያኛ) ጋር እኩል ነው. ወደ 0.1 ሚሜ አካባቢ). ስለዚህ, ይህ ደግሞ ሴሚኮንዳክተሮች በሚያመነጩት የኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዝ ንፅህና ላይ ከፍተኛ መስፈርቶችን ያቀርባል.
የልጥፍ ሰዓት፡- ዲሴምበር-15-2021