ከፍተኛው የኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዝ መጠን - ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ NF3

የሀገራችን ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ እና የፓነል ኢንዱስትሪ ከፍተኛ የብልጽግና ደረጃን ይጠብቃል። ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ፣ ፓነሎች እና ሴሚኮንዳክተሮችን በማምረት እና በማቀናበር እንደ አስፈላጊ እና ትልቅ መጠን ያለው ልዩ የኤሌክትሮኒክ ጋዝ ሰፊ የገበያ ቦታ አለው።

በብዛት ጥቅም ላይ የዋሉ ፍሎራይን የያዙ ልዩ የኤሌክትሮኒክስ ጋዞችን ያጠቃልላልሰልፈር ሄክፋሉራይድ (SF6), tungsten hexafluoride (WF6)፣ካርቦን ቴትራፍሎራይድ (CF4), trifluoromethane (CHF3), ናይትሮጅን trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) እና octafluoropropane (C3F8). ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (NF3) በዋናነት ለሃይድሮጂን ፍሎራይድ-ፍሎራይድ ጋዝ ከፍተኛ ኃይል ያለው ኬሚካላዊ ሌዘር እንደ የፍሎራይን ምንጭ ሆኖ ያገለግላል። በ H2-O2 እና F2 መካከል ያለው ምላሽ ኃይል ውጤታማ ክፍል (25% ገደማ) በጨረር ጨረር ሊለቀቅ ይችላል ፣ ስለሆነም HF-OF ሌዘር በኬሚካዊ ሌዘር መካከል በጣም ተስፋ ሰጭ ሌዘር ናቸው።

ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ በማይክሮ ኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪ ውስጥ እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ የፕላዝማ ኢቲንግ ጋዝ ነው። ሲሊኮን እና ሲሊከን ናይትራይድ ለማሳመር፣ ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ ከካርቦን ቴትራፍሎራይድ እና ከካርቦን ቴትራፍሎራይድ እና ኦክሲጅን ድብልቅ የበለጠ ከፍተኛ የኢተክሽን መጠን እና ምርጫ ያለው ሲሆን በገጹ ላይ ምንም ብክለት የለውም። በተለይም ከ 1.5um ያነሰ ውፍረት ባለው የተቀናጁ የወረዳ ቁሶች ውስጥ, ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ የኢንፌክሽን መጠን እና የመራጭነት መጠን ያለው ሲሆን ይህም በተቀረጸው ነገር ላይ ምንም ቅሪት አይተዉም, እንዲሁም በጣም ጥሩ የጽዳት ወኪል ነው. በናኖቴክኖሎጂ እድገት እና በኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪው መጠነ ሰፊ እድገት ፍላጎቱ ከቀን ወደ ቀን እየጨመረ ይሄዳል።

እንደ ፍሎራይን የያዘ ልዩ ጋዝ፣ ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (NF3) በገበያ ውስጥ ትልቁ የኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዝ ምርት ነው። በክፍል ሙቀት ውስጥ በኬሚካል የማይነቃነቅ፣ ከኦክሲጅን የበለጠ ንቁ፣ ከፍሎራይን የበለጠ የተረጋጋ እና በከፍተኛ ሙቀት ለመያዝ ቀላል ነው።

ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ በዋናነት እንደ ፕላዝማ ኢቲንግ ጋዝ እና የምላሽ ክፍል ማጽጃ ወኪል ጥቅም ላይ ይውላል፣ እንደ ሴሚኮንዳክተር ቺፕስ፣ ጠፍጣፋ ፓነል ማሳያዎች፣ ኦፕቲካል ፋይበር፣ የፎቶቮልታይክ ሴሎች፣ ወዘተ.

ከሌሎች ፍሎራይን ከያዙ የኤሌክትሮኒክስ ጋዞች ጋር ሲነፃፀር ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ ፈጣን ምላሽ እና ከፍተኛ ውጤታማነት አለው ፣ በተለይም እንደ ሲሊኮን ናይትራይድ ያሉ ሲሊኮን የያዙ ቁሶችን በሚፈጥሩበት ጊዜ ከፍተኛ የማሳከክ ፍጥነት እና የመምረጥ ችሎታ አለው ፣ በተቀረጸው ነገር ላይ ምንም ቅሪት አይተዉም ፣ እና እንዲሁም በጣም ጥሩ ጥሩ የጽዳት ወኪል ነው ፣ እና የፍላጎቱን ሂደት የማይበክል እና ብክለትን ያስከትላል።