የአገራችን ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ እና የፓነል ኢንዱስትሪ ከፍተኛ የብልጽግና ደረጃን ይይዛሉ። ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ፣ በፓነሎች እና ሴሚኮንዳክተሮች ምርት እና ማቀነባበሪያ ውስጥ እንደ አስፈላጊ እና ከፍተኛ መጠን ያለው ልዩ የኤሌክትሮኒክስ ጋዝ፣ ሰፊ የገበያ ቦታ አለው።
በብዛት ጥቅም ላይ የዋሉ ፍሎራይን የያዙ ልዩ የኤሌክትሮኒክስ ጋዞች የሚከተሉትን ያካትታሉሰልፈር ሄክሳፍሎራይድ (SF6), tungsten hexafluoride (WF6)፣ካርቦን ቴትራፍሎራይድ (CF4)ትሪፍሎሮሜቴን (CHF3)፣ ናይትሮጅን ትሪፍሎሮይድ (NF3)፣ ሄክሳፍሎሮኤቴን (C2F6) እና ኦክታፍሎሮፕሮፔን (C3F8)። ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (NF3) በዋናነት ለሃይድሮጂን ፍሎራይድ-ፍሎራይድ ጋዝ ከፍተኛ ኃይል ላላቸው የኬሚካል ሌዘሮች እንደ ፍሎራይድ ምንጭ ሆኖ ያገለግላል። በH2-O2 እና F2 መካከል ያለው ውጤታማው የምላሽ ኃይል (25% ገደማ) በሌዘር ጨረር ሊለቀቅ ይችላል፣ ስለዚህ HF-OF ሌዘሮች በኬሚካል ሌዘሮች መካከል በጣም ተስፋ ሰጪ ሌዘሮች ናቸው።
ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ በማይክሮኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪ ውስጥ በጣም ጥሩ የፕላዝማ ቅርፊት ጋዝ ነው። ለሲሊኮን እና ለሲሊኮን ናይትሬድ ቅርፊት፣ ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ ከካርቦን ቴትራፍሎራይድ እና ከካርቦን ቴትራፍሎራይድ እና ከኦክስጅን ድብልቅ የበለጠ የመቅዳት ፍጥነት እና የመምረጥ ችሎታ አለው፣ እና በላዩ ላይ ምንም አይነት ብክለት የለውም። በተለይም ከ1.5um በታች ውፍረት ባላቸው የተቀናጁ የወረዳ ቁሳቁሶች ቅርፊት ውስጥ፣ ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ በጣም ጥሩ የመቅዳት ፍጥነት እና የመምረጥ ችሎታ አለው፣ በተቀረጸው ነገር ወለል ላይ ምንም ቅሪት አይተውም፣ እንዲሁም በጣም ጥሩ የጽዳት ወኪል ነው። በናኖቴክኖሎጂ እድገት እና በኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪው ሰፊ እድገት፣ ፍላጎቱ በየቀኑ ይጨምራል።
እንደ ፍሎራይን የያዘ ልዩ ጋዝ አይነት፣ ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (NF3) በገበያ ላይ ትልቁ የኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዝ ምርት ነው። በክፍል ሙቀት ውስጥ በኬሚካል የማይንቀሳቀስ፣ ከኦክስጅን የበለጠ ንቁ፣ ከፍሎሪን የበለጠ የተረጋጋ እና በከፍተኛ ሙቀት ለመያዝ ቀላል ነው።
ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ በዋናነት እንደ ፕላዝማ ኢቺንግ ጋዝ እና የምላሽ ክፍል ማጽጃ ወኪል ሆኖ ያገለግላል፣ እንደ ሴሚኮንዳክተር ቺፕስ፣ ጠፍጣፋ ፓነል ማሳያዎች፣ ኦፕቲካል ፋይበር፣ የፎቶቮልታይክ ሴሎች፣ ወዘተ ላሉ የማምረቻ መስኮች ተስማሚ ነው።
ከሌሎች ፍሎራይን የያዙ የኤሌክትሮኒክ ጋዞች ጋር ሲነጻጸር፣ ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ ፈጣን ምላሽ እና ከፍተኛ ቅልጥፍና ጥቅሞች አሉት፣ በተለይም እንደ ሲሊኮን ናይትሬድ ያሉ ሲሊኮን የያዙ ቁሳቁሶችን በመቅዳት ረገድ፣ ከፍተኛ የመቅዳት ፍጥነት እና የመምረጥ ችሎታ አለው፣ በተቀረጸው ነገር ወለል ላይ ምንም ቅሪት አይተውም፣ እንዲሁም በጣም ጥሩ የጽዳት ወኪል ነው፣ እና ለገጽታው የማይበክል እና የማቀነባበሪያ ሂደቱን ፍላጎቶች ሊያሟላ ይችላል።
የፖስታ ሰዓት፡- ታህሳስ 26-2024
