በጣም ጥቅም ላይ የዋለው የኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዝ - ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ

የተለመዱ ፍሎራይን የያዙ ልዩ ኤሌክትሮኒካዊ ጋዞች ያካትታሉሰልፈር ሄክፋሉራይድ (SF6), tungsten hexafluoride (WF6)፣ካርቦን ቴትራፍሎራይድ (CF4), trifluoromethane (CHF3), ናይትሮጅን trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) እና octafluoropropane (C3F8).

በናኖቴክኖሎጂ እድገት እና በኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪው መጠነ ሰፊ እድገት ፍላጎቱ ከቀን ወደ ቀን እየጨመረ ይሄዳል። ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ እንደ ፓነሎች እና ሴሚኮንዳክተሮች ምርት እና ሂደት ውስጥ እንደ አስፈላጊነቱ እና ትልቅ ጥቅም ላይ የዋለ ልዩ የኤሌክትሮኒክ ጋዝ ሰፊ የገበያ ቦታ አለው።

እንደ ፍሎራይን-የያዘ ልዩ ጋዝ ዓይነት ፣ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (NF3)ትልቁ የገበያ አቅም ያለው የኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዝ ምርት ነው። በክፍል ሙቀት ውስጥ በኬሚካላዊ መልኩ የማይነቃነቅ፣ ከኦክሲጅን በከፍተኛ ሙቀት የበለጠ ንቁ፣ ከፍሎሪን የበለጠ የተረጋጋ እና ለማስተናገድ ቀላል ነው። ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ በዋናነት እንደ ፕላዝማ ኤቲንግ ጋዝ እና ምላሽ ክፍል ማጽጃ ወኪል ጥቅም ላይ የሚውል ሲሆን ለሴሚኮንዳክተር ቺፕስ፣ ለጠፍጣፋ ፓነል ማሳያዎች፣ ለኦፕቲካል ፋይበር፣ ለፎቶቮልታይክ ህዋሶች ወዘተ ለማምረት ተስማሚ ነው።

ከሌሎች ፍሎራይን ከያዙ የኤሌክትሮኒክስ ጋዞች ጋር ሲነጻጸር፣ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድፈጣን ምላሽ እና ከፍተኛ ውጤታማነት ጥቅሞች አሉት። በተለይም እንደ ሲሊኮን ናይትራይድ ያሉ ሲሊኮን የያዙ ቁሶችን በመፍጨት ከፍተኛ የማሳከሚያ ፍጥነት እና የመምረጥ ችሎታ ስላለው በተቀረጸው ነገር ላይ ምንም ቅሪት አይተዉም። እንዲሁም በጣም ጥሩ የጽዳት ወኪል ነው እና በመሬቱ ላይ ምንም ብክለት የለውም, ይህም የማቀነባበሪያ ሂደቱን ፍላጎቶች ሊያሟላ ይችላል.