በብዛት ጥቅም ላይ የዋለው የኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዝ - ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ

የተለመዱ ፍሎሪን የያዙ ልዩ የኤሌክትሮኒክስ ጋዞች የሚከተሉትን ያካትታሉሰልፈር ሄክሳፍሎራይድ (SF6), tungsten hexafluoride (WF6)፣ካርቦን ቴትራፍሎራይድ (CF4)ትሪፍሎሮሜቴን (CHF3)፣ ናይትሮጅን ትሪፍሎሮይድ (NF3)፣ ሄክሳፍሎሮኤቴን (C2F6) እና ኦክታፍሎሮፕሮፔን (C3F8)።

የናኖቴክኖሎጂ እድገት እና የኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪው ሰፊ እድገት ሲኖር፣ ፍላጎቱ በየቀኑ ይጨምራል። ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ፣ በፓነሎች እና ሴሚኮንዳክተሮች ምርት እና ማቀነባበሪያ ውስጥ እንደ አስፈላጊ እና ትልቁ ጥቅም ላይ የሚውል ልዩ የኤሌክትሮኒክስ ጋዝ፣ ሰፊ የገበያ ቦታ አለው።

እንደ ፍሎሪን የያዘ ልዩ ጋዝ አይነት፣ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (NF3)ትልቁ የገበያ አቅም ያለው የኤሌክትሮኒክስ ልዩ የጋዝ ምርት ነው። በክፍል ሙቀት ውስጥ በኬሚካል የማይንቀሳቀስ፣ በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ከኦክስጅን የበለጠ ንቁ፣ ከፍሎሪን የበለጠ የተረጋጋ እና ለመያዝ ቀላል ነው። ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ በዋናነት እንደ ፕላዝማ ኢቺንግ ጋዝ እና እንደ ሪአክሽን ቻምበር ጽዳት ወኪል ሆኖ የሚያገለግል ሲሆን ለሴሚኮንዳክተር ቺፕስ፣ ለጠፍጣፋ ፓነል ማሳያዎች፣ ለኦፕቲካል ፋይበር፣ ለፎቶቮልታይክ ሴሎች ወዘተ ለማምረት ተስማሚ ነው።

ከሌሎች ፍሎሪን የያዙ የኤሌክትሮኒክ ጋዞች ጋር ሲወዳደር፣ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድፈጣን ምላሽ እና ከፍተኛ ቅልጥፍና ጥቅሞች አሉት። በተለይም እንደ ሲሊኮን ናይትሬድ ያሉ ሲሊኮን የያዙ ቁሳቁሶችን በመቅዳት ረገድ፣ ከፍተኛ የመቅዳት ፍጥነት እና የመምረጥ ችሎታ ስላለው በተቀረጸው ነገር ወለል ላይ ምንም አይነት ቅሪት አይተውም። እንዲሁም በጣም ጥሩ የጽዳት ወኪል ሲሆን ለገጽታ ምንም አይነት ብክለት የለውም፣ ይህም የማቀነባበሪያ ሂደቱን ፍላጎቶች ሊያሟላ ይችላል።