በጣም ጥቅም ላይ የዋለው የኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዝ - ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ

የተለመዱ ፍሎራይን የያዙ ልዩ ኤሌክትሮኒካዊ ጋዞች ያካትታሉሰልፈር ሄክፋሉራይድ (SF6), tungsten hexafluoride (WF6)፣ካርቦን ቴትራፍሎራይድ (CF4), trifluoromethane (CHF3), ናይትሮጅን trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) እና octafluoropropane (C3F8).

በናኖቴክኖሎጂ እድገት እና በኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪው መጠነ ሰፊ እድገት ፍላጎቱ ከቀን ወደ ቀን እየጨመረ ይሄዳል። ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ እንደ ፓነሎች እና ሴሚኮንዳክተሮች ማምረት እና ማቀነባበሪያ ውስጥ እንደ አስፈላጊ እና ትልቅ ጥቅም ላይ የዋለ ልዩ የኤሌክትሮኒክ ጋዝ ሰፊ የገበያ ቦታ አለው።

እንደ ፍሎራይን-የያዘ ልዩ ጋዝ ዓይነት ፣ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (NF3)ትልቁ የገበያ አቅም ያለው የኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዝ ምርት ነው። በክፍል ሙቀት ውስጥ በኬሚካላዊ መልኩ የማይነቃነቅ፣ ከኦክሲጅን በከፍተኛ ሙቀት የበለጠ ንቁ፣ ከፍሎሪን የበለጠ የተረጋጋ እና ለማስተናገድ ቀላል ነው። ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ በዋናነት እንደ ፕላዝማ ኤቲንግ ጋዝ እና ምላሽ ሰጪ ክፍል ማጽጃ ወኪል ሆኖ የሚያገለግል ሲሆን ለሴሚኮንዳክተር ቺፕስ፣ ለጠፍጣፋ ማሳያዎች፣ ለኦፕቲካል ፋይበር፣ ለፎቶቮልታይክ ህዋሶች ወዘተ ለማምረት ተስማሚ ነው።

ከሌሎች ፍሎራይን ከያዙ የኤሌክትሮኒክስ ጋዞች ጋር ሲነጻጸር፣ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድፈጣን ምላሽ እና ከፍተኛ ውጤታማነት ጥቅሞች አሉት። በተለይም እንደ ሲሊኮን ናይትራይድ ያሉ ሲሊኮን የያዙ ቁሶችን በማፍሰስ ከፍተኛ የሆነ የማሳከክ ፍጥነት እና የመምረጥ ችሎታ ስላለው በተቀረጸው ነገር ላይ ምንም ቅሪት አይተዉም። እንዲሁም በጣም ጥሩ የጽዳት ወኪል ነው እና በመሬቱ ላይ ምንም ብክለት የለውም, ይህም የማቀነባበሪያ ሂደቱን ፍላጎቶች ሊያሟላ ይችላል.