Tungsten hexafluoride (WF6) በቫፈር ላይ በሲቪዲ ሂደት ውስጥ ተከማችቷል, የብረት ማያያዣ ቦይዎችን በመሙላት እና በንብርብሮች መካከል ያለውን የብረት ትስስር ይፈጥራል.
በመጀመሪያ ስለ ፕላዝማ እንነጋገር. ፕላዝማ በዋነኛነት ነፃ ኤሌክትሮኖች እና ቻርጅ የተደረገባቸው ionዎች ያሉት የቁስ አካል ነው። በአጽናፈ ሰማይ ውስጥ በሰፊው አለ እና ብዙውን ጊዜ እንደ አራተኛው የቁስ አካል ተደርጎ ይወሰዳል። የፕላዝማ ግዛት ተብሎም ይጠራል, "ፕላዝማ" ተብሎም ይጠራል. ፕላዝማ ከፍተኛ የኤሌክትሪክ ምቹነት ያለው ሲሆን ከኤሌክትሮማግኔቲክ መስክ ጋር ጠንካራ የማጣመር ውጤት አለው. ከኤሌክትሮኖች፣ ionዎች፣ ነጻ ራዲካልስ፣ ገለልተኛ ቅንጣቶች እና ፎንቶኖች የተዋቀረ ከፊል ionized ጋዝ ነው። ፕላዝማ ራሱ አካላዊ እና ኬሚካላዊ ንቁ ቅንጣቶችን የያዘ ኤሌክትሪክ ገለልተኛ ድብልቅ ነው።
ቀጥተኛ ማብራሪያው በከፍተኛ ኃይል እንቅስቃሴ ውስጥ ሞለኪውል የቫን ደር ዋልስ ኃይልን ፣ የኬሚካል ቦንድ ኃይልን እና የኩሎምብ ኃይልን ያሸንፋል እና በአጠቃላይ ገለልተኛ ኤሌክትሪክን ያቀርባል። በተመሳሳይ ጊዜ, ከውጭ የሚሰጠው ከፍተኛ ኃይል ከላይ ያሉትን ሶስት ኃይሎች ያሸንፋል. ተግባር፣ ኤሌክትሮኖች እና አየኖች እንደ ሴሚኮንዳክተር ኢቲንግ ሂደት፣ ሲቪዲ ሂደት፣ ፒቪዲ እና አይኤምፒ ሂደት ባሉ መግነጢሳዊ መስክ ሞዲዩሽን ስር አርቲፊሻል በሆነ መንገድ ጥቅም ላይ የሚውል ነፃ ሁኔታን ያቀርባሉ።
ከፍተኛ ጉልበት ምንድን ነው? በንድፈ ሀሳብ, ሁለቱም ከፍተኛ ሙቀት እና ከፍተኛ ድግግሞሽ RF መጠቀም ይቻላል. በአጠቃላይ ሲታይ, ከፍተኛ ሙቀት ለማግኘት ፈጽሞ የማይቻል ነው. ይህ የሙቀት ፍላጎት በጣም ከፍተኛ ነው እና ከፀሐይ ሙቀት ጋር ሊቀራረብ ይችላል. በመሠረቱ በሂደቱ ውስጥ ለመድረስ የማይቻል ነው. ስለዚህ, ኢንዱስትሪው ብዙውን ጊዜ እሱን ለማግኘት ከፍተኛ ድግግሞሽ (RF) ይጠቀማል. ፕላዝማ RF እስከ 13MHz+ ድረስ ሊደርስ ይችላል።
Tungsten hexafluoride በኤሌትሪክ መስክ ተግባር ስር በፕላዝማ ተይዟል፣ እና ከዚያም በእንፋሎት የሚቀመጠው በማግኔት መስክ ነው። W አቶሞች ከክረምት ዝይ ላባ ጋር ተመሳሳይ ናቸው እና በስበት ኃይል ስር ወደ መሬት ይወድቃሉ። ቀስ ብሎ፣ ደብሊው አተሞች ወደ ቀዳዳው ጉድጓድ ውስጥ ይቀመጣሉ እና በመጨረሻም ሙሉ በሙሉ በቀዳዳዎች ተሞልተው የብረት ትስስር ይፈጥራሉ። W አቶሞችን በቀዳዳዎች ውስጥ ከማስቀመጥ በተጨማሪ በዋፈር ወለል ላይ ይቀመጣሉ? አዎ፣ በእርግጠኝነት። በአጠቃላይ ፣ የ W-CMP ሂደትን መጠቀም ይችላሉ ፣ ይህም ለማስወገድ ሜካኒካል መፍጨት ሂደት ብለን የምንጠራው ነው። ከከባድ በረዶ በኋላ ወለሉን ለመጥረግ መጥረጊያ ከመጠቀም ጋር ተመሳሳይ ነው። በመሬት ላይ ያለው በረዶ ተጠርጓል, ነገር ግን በመሬት ላይ ባለው ጉድጓድ ውስጥ ያለው በረዶ ይቀራል. ታች ፣ በግምት ተመሳሳይ።
የልጥፍ ሰዓት፡- ዲሴምበር-24-2021
