የተንግስተን ሄክሳፍሎራይድ (WF6) በሲቪዲ ሂደት አማካኝነት በዋፈር ወለል ላይ ይቀመጣል፣ የብረት ማያያዣ ጉድጓዶችን ይሞላል እና በንብርብሮች መካከል የብረት ትስስር ይፈጥራል።
በመጀመሪያ ስለ ፕላዝማ እንነጋገር። ፕላዝማ በዋናነት ከነፃ ኤሌክትሮኖች እና ከተሞሉ አየኖች የተዋቀረ የቁስ አካል ነው። በአጽናፈ ዓለም ውስጥ በስፋት የሚገኝ ሲሆን ብዙውን ጊዜ እንደ አራተኛው የቁስ ሁኔታ ይቆጠራል። የፕላዝማ ሁኔታ ተብሎም ይጠራል፣ እንዲሁም "ፕላዝማ" ይባላል። ፕላዝማ ከፍተኛ የኤሌክትሪክ ማስተላለፊያ አቅም ያለው ሲሆን ከኤሌክትሮማግኔቲክ መስክ ጋር ጠንካራ የመገጣጠም ውጤት አለው። ከኤሌክትሮኖች፣ ከአዮኖች፣ ከፍሪ ራዲካልስ፣ ከገለልተኛ ቅንጣቶች እና ከፎቶኖች የተዋቀረ በከፊል አዮናዊ ጋዝ ነው። ፕላዝማ ራሱ አካላዊ እና ኬሚካላዊ ንቁ ቅንጣቶችን የያዘ በኤሌክትሪክ ገለልተኛ ድብልቅ ነው።
ቀጥተኛው ማብራሪያ ከፍተኛ ኃይል ባለው ተግባር ስር ሞለኪውሉ የቫን ደር ዋልስን ኃይል፣ የኬሚካል ትስስር ኃይልን እና የኩሎምብ ኃይልን ያሸንፋል፣ እና በአጠቃላይ ገለልተኛ የኤሌክትሪክ ኃይልን ያቀርባል። በተመሳሳይ ጊዜ፣ ከውጭ የሚወጣው ከፍተኛ ኃይል ከላይ ያሉትን ሶስት ኃይሎች ያሸንፋል። ተግባር፣ ኤሌክትሮኖች እና አየኖች ነፃ ሁኔታ ያቀርባሉ፣ ይህም እንደ ሴሚኮንዳክተር ኢቺንግ ሂደት፣ የሲቪዲ ሂደት፣ የፒቪዲ እና የአይኤምፒ ሂደት ባሉ መግነጢሳዊ መስክ ሞጁል ስር በሰው ሰራሽ መንገድ ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል።
ከፍተኛ ኃይል ምንድን ነው? በንድፈ ሀሳብ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠንም ሆነ ከፍተኛ ድግግሞሽ RF ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ። በአጠቃላይ ሲታይ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ማሳካት ፈጽሞ የማይቻል ነው። ይህ የሙቀት መጠን በጣም ከፍተኛ ሲሆን ከፀሐይ ሙቀት ጋር ሊቀራረብ ይችላል። በመሠረቱ በሂደቱ ውስጥ ማሳካት የማይቻል ነው። ስለዚህ፣ ኢንዱስትሪው ብዙውን ጊዜ ከፍተኛ ድግግሞሽ RF ይጠቀማል። የፕላዝማ RF እስከ 13MHz+ ሊደርስ ይችላል።
የተንግስተን ሄክሳፍሎራይድ በኤሌክትሪክ መስክ ተግባር ስር ፕላዝማ ይለወጣል፣ ከዚያም በመግነጢሳዊ መስክ ትነት ይቀመጣል። የ W አቶሞች ከክረምት ዝይ ላባዎች ጋር ተመሳሳይ ናቸው እና በስበት ኃይል ተግባር ስር ወደ መሬት ይወድቃሉ። ቀስ በቀስ የ W አቶሞች ወደ መተላለፊያ ቀዳዳዎች ውስጥ ይገባሉ፣ እና በመጨረሻም ሙሉ በሙሉ የተሞሉ ቀዳዳዎችን በመጠቀም የብረት ግንኙነቶችን ይፈጥራሉ። የ W አቶሞችን በማለፍ ቀዳዳዎች ውስጥ ከማስቀመጥ በተጨማሪ፣ በዋፈር ወለል ላይ ይቀመጣሉ? አዎ፣ በእርግጠኝነት። በአጠቃላይ፣ ለማስወገድ ሜካኒካል መፍጨት ሂደት ብለን የምንጠራውን የ W-CMP ሂደትን መጠቀም ይችላሉ። ከባድ በረዶ ከተከሰተ በኋላ ወለሉን ለመጥረግ መጥረጊያ ከመጠቀም ጋር ተመሳሳይ ነው። መሬት ላይ ያለው በረዶ ተጠርጎ ይወሰዳል፣ ነገር ግን መሬት ላይ ባለው ቀዳዳ ውስጥ ያለው በረዶ ይቀራል። ወደ ታች፣ በግምት ተመሳሳይ ነው።
የልጥፍ ሰዓት፡- ታህሳስ 24-2021
