ኤሌክትሮኒክልዩ ጋዞችየልዩ ጋዞች አስፈላጊ ቅርንጫፍ ናቸው. እነሱ ልክ እንደ ሴሚኮንዲተር ምርት ማምረት, እንደ አልትራሳውንድ ሰፊ ወረዳዎች, ጠፍጣፋ ፓነል ማሳያ መሳሪያዎች እና የፀሐይ ህዋሳት ያሉ የኤሌክትሮኒክ ኢንዱስትሪዎች ለማምረት አስፈላጊ የሆኑ ጥሬ ቁሳቁሶች ናቸው.

በሴሚኮንድገር ቴክኖሎጂ ውስጥ ፍሎራይቲስቲን የያዙ ጋዞች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ. በአሁኑ ወቅት በዓለም አቀፍ ደረጃ የኤሌክትሮኒክ ጋዝ ገበያ, የኤሌክትሮኒክስ ጋዝ መለያ የያዘ ከጠቅላላው 30% ያህል ነው. የኤሌክትሮኒክ ጋዞች የያዙ የፍሎረንስ ጋዞችን የያዙ የፍሎረንስ ጋዞችን የያዙ ልዩ የኤሌክትሮኒክ መረጃ ቁሳቁሶች መስክ ልዩ የኤሌክትሮኒክስ ጋዞችን አስፈላጊ አካል ናቸው. በዋናነት ጥቅም ላይ የዋሉ እንደ የፅዳት ወኪሎች እና etchent ወኪሎች ያገለግላሉ, እናም እንደ አዶዎች, የፊልም-ቅጥር ቁሳቁሶች ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ, በዚህ ጽሑፍ ውስጥ ደራሲው የተለመዱ የፍሎራይሻን-የያዙ ጋዞችን እንዲገነዘቡ ይረዳዎታል.

የሚከተሉት በተለምዶ ፍሎራይድ-የያዙ ጋዞችን ያገለግላሉ

ናይትሮጂን ትሪፕሽን (NF3): - ተቀማጮችን ለማፅዳት እና ለማስወገድ የሚያገለግል ጋዝ አብዛኛውን ጊዜ የምላሽ ክፍሎችን እና የመሳሪያዎችን ገጽታዎች ለማፅዳት የሚያገለግል ነው.

ሰልፈር ሄክሳፊንግ (SF6): - በኦክሪድ ተቀማጭነት ሂደቶች ውስጥ የሚያገለግል የፍሎራይድ ወኪል እና የመገናኛ ሚዲያ ለመሙላት እንደ መከለያ ጋዝ.

የሃይድሮጂን ፍሎራይድ (ኤች.አይ.ቪ.) - ከሲሊኮን ወለል ላይ ከሲሊኮን ወለል ላይ እና ለሲሊኮን እና ለሌሎች ቁሳቁሶች ወኪል የመታሰቢያ ቦታን ለማስወገድ ያገለገሉ ናቸው.

ናይትሮጂን ፍሎራይድ (ኤን.ኤን.ኤ)-እንደ ሲሊሰን Nitride (SIN) እና የአሉሚኒየም Nitride ያሉ ቁሳቁሶችን ለማበጀት ያገለግላሉ.

Triffulomenthane (CHF3) እናቴትራፍሉሎሜሜኔን (CF4)የሚያያዙት ገጾች መልዕክት.

ሆኖም ፍሎራይጣን የያዙ ጋዞች የያዙ ጋዞች መርዛማነት, መቁረጥ እና ፍላ shat ጢአት ጨምሮ አንዳንድ አደጋዎች አሏቸው.

መርዛማነት

አንዳንድ የፍሎረንስ-የያዙ ጋዞች የያዙ ጋዞች በቆሻሻ መጣያ እና የመተንፈሻ አካላት ጉልበት እና በሰው ጤና ላይ ጉዳት የማያስደስት የመሳሰሉት የሃይድሮጂን ፍሎራይድ (ኤች.አይ.ቪ.) የመሳሰሉ መርዛማ ናቸው.

ቆሻሻ

የሃይድሮጂን ፍሎራይድ እና አንዳንድ ፍሎሎች በከፍተኛ ሁኔታ የቆረጡ ናቸው እናም በቆዳው, በዓይኖቹ እና የመተንፈሻ አካላት ላይ ከባድ ጉዳት ያስከትላሉ.

የፍላሽ መኖር

አንዳንድ የፍሎራይሾች ተበላሽተው እሳት ወይም ውሃ በሚፈታበት ጊዜ እሳት ወይም መርዛማ ጋዞችን ለመልቀቅ በአየር ውስጥ ምላሽ ይሰጣሉ.

ከፍተኛ ግፊት አደጋ

አንዳንድ የፍሎረሪ ጋዞች በከፍተኛ ግፊት ስር ናቸው ሲሉ ጥቅም ላይ ሲውሉ ልዩ እንክብካቤ ያስፈልጋቸዋል.

በአከባቢው ላይ ተጽዕኖ

ፍሎራይተስ የያዙ ጋዞች የያዙ ጋዞች በከባቢ አየር ኦዞን ሽፋን ላይ መጥፎ ተጽዕኖ ያሳድራል እናም የአለም ሙቀት መጨመር እና የአካባቢ ብክለትን ያስከትላል.

እንደ ኤሌክትሮኒክስ ያሉ የኤሌክትሮኒክስ ማተሚያ ቤቶች ከፍተኛ መጠን ያላቸውን የኢንዱስትሪ ጋዞችን ማምጣት ይቀጥላሉ. እንደ ሴሚኮኖንድዲተሮች ያሉ ዋና ዋና የኤሌክትሮኒክስ አካላት በዋናው አገሮች ውስጥ በዋናው አገላለጽ ውስጥ በዋናው መሬት ውስጥ ያሉ ፓነሎች በማሳየት ምክንያት የኤሌክትሮኒክ ኤሌክትሮኒክ የጋዝ ኢንዱስትሪ በከፍተኛ የእድገት ሥራ ላይ ያስተካክላል.