ኤሌክትሮኒክልዩ ጋዞችየልዩ ጋዞች አስፈላጊ ቅርንጫፍ ናቸው. ከሞላ ጎደል ወደ ሴሚኮንዳክተር አመራረት ትስስር ውስጥ ዘልቀው ይገባሉ እና ለኤሌክትሮኒካዊ ኢንዱስትሪዎች እንደ እጅግ በጣም ግዙፍ የተቀናጁ ወረዳዎች፣ ጠፍጣፋ ማሳያ መሳሪያዎች እና የፀሐይ ህዋሶች ለማምረት አስፈላጊ የሆኑ ጥሬ እቃዎች ናቸው።

በሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ ውስጥ ፍሎራይን የያዙ ጋዞች በብዛት ጥቅም ላይ ይውላሉ። በአሁኑ ጊዜ በአለም አቀፍ የኤሌክትሮኒክስ ጋዝ ገበያ ውስጥ ፍሎራይን የያዙ የኤሌክትሮኒክስ ጋዞች ከጠቅላላው 30% ያህሉ ናቸው. ፍሎራይን የያዙ የኤሌክትሮኒክስ ጋዞች በኤሌክትሮኒክስ የመረጃ ቁሳቁሶች መስክ ውስጥ ልዩ የኤሌክትሮኒክስ ጋዞች አስፈላጊ አካል ናቸው. በዋናነት እንደ ማጽጃ ወኪሎች እና ማሳከክ ወኪሎች ጥቅም ላይ ይውላሉ, እንዲሁም እንደ ዶፓንቶች, ፊልም-መፈጠራቸው ቁሳቁሶች, ወዘተ. በዚህ ጽሑፍ ውስጥ, ደራሲው የተለመዱትን ፍሎራይን የያዙ ጋዞችን እንዲረዱ ያደርጉዎታል.

የሚከተሉት በተለምዶ ፍሎራይን የያዙ ጋዞች ጥቅም ላይ ይውላሉ

ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (ኤንኤፍ 3)፡- ክምችትን ለማጽዳት እና ለማስወገድ የሚያገለግል ጋዝ፣ አብዛኛውን ጊዜ የምላሽ ክፍሎችን እና የመሳሪያ ቦታዎችን ለማጽዳት ያገለግላል።

ሰልፈር ሄክፋሉራይድ (SF6)በኦክሳይድ ክምችት ሂደቶች ውስጥ እና እንደ መከላከያ ጋዝ ለመሙላት የሚያገለግል የፍሎራይቲንግ ወኪል።

ሃይድሮጂን ፍሎራይድ (ኤችኤፍ)፡- ኦክሳይድን ከሲሊኮን ወለል ላይ ለማስወገድ እና ሲሊኮን እና ሌሎች ቁሳቁሶችን ለመቅዳት እንደ ማቀፊያ ይጠቅማል።

ናይትሮጅን ፍሎራይድ (ኤንኤፍ)፡- እንደ ሲሊከን ናይትራይድ (ሲኤን) እና አልሙኒየም ናይትራይድ (አልኤን) ያሉ ቁሳቁሶችን ለመቅረጽ ይጠቅማል።

Trifluoromethane (CHF3) እናtetrafluoromethane (CF4)እንደ ሲሊከን ፍሎራይድ እና አልሙኒየም ፍሎራይድ ያሉ የፍሎራይድ ቁሳቁሶችን ለመቅረጽ ይጠቅማል።

ይሁን እንጂ ፍሎራይን የያዙ ጋዞች መርዛማነት፣ መበላሸት እና ተቀጣጣይነትን ጨምሮ አንዳንድ አደጋዎች አሏቸው።

መርዛማነት

አንዳንድ ፍሎራይን የያዙ ጋዞች እንደ ሃይድሮጂን ፍሎራይድ (HF) ያሉ መርዛማዎች ሲሆኑ ትነትቸው ቆዳን እና የመተንፈሻ ቱቦን በጣም የሚያበሳጭ እና በሰው ጤና ላይ ጎጂ ነው።

ብልሹነት

ሃይድሮጅን ፍሎራይድ እና አንዳንድ ፍሎራይዶች በጣም የሚበላሹ ናቸው እና በቆዳ, በአይን እና በመተንፈሻ አካላት ላይ ከፍተኛ ጉዳት ያደርሳሉ.

ተቀጣጣይነት

አንዳንድ ፍሎራይዶች ተቀጣጣይ ናቸው እና በአየር ውስጥ ከኦክስጂን ወይም ከውሃ ጋር ምላሽ ይሰጣሉ ኃይለኛ ሙቀትን እና መርዛማ ጋዞችን ይለቀቃሉ ይህም እሳትን ወይም ፍንዳታን ያስከትላል።

ከፍተኛ-ግፊት አደጋ

አንዳንድ ፍሎራይድድ ጋዞች በከፍተኛ ጫና ውስጥ ፈንጂዎች ሲሆኑ ጥቅም ላይ ሲውሉ እና ሲከማቹ ልዩ ጥንቃቄ ይፈልጋሉ.

በአካባቢው ላይ ተጽእኖ

ፍሎራይን የያዙ ጋዞች ከፍተኛ የከባቢ አየር የህይወት ዘመን እና የ GWP እሴት አላቸው፣ ይህም በከባቢ አየር ውስጥ ባለው የኦዞን ሽፋን ላይ አጥፊ ተጽእኖ ስላለው የአለም ሙቀት መጨመር እና የአካባቢ ብክለት ሊያስከትሉ ይችላሉ።

እንደ ኤሌክትሮኒክስ ባሉ አዳዲስ መስኮች ውስጥ የጋዞች አተገባበር ጥልቅ እየሆነ መጥቷል, ይህም የኢንዱስትሪ ጋዞች ከፍተኛ መጠን ያለው አዲስ ፍላጎት ያመጣል. በሚቀጥሉት ጥቂት ዓመታት ውስጥ ዋና ዋና የኤሌክትሮኒክስ ክፍሎች እንደ ሴሚኮንዳክተሮች እና የማሳያ ፓነሎች ትልቅ መጠን አዲስ የማምረት አቅም ላይ በመመስረት, እንዲሁም የኤሌክትሮኒክስ ኬሚካል ዕቃዎችን ወደ አገር ውስጥ የማስመጣት ጠንካራ ፍላጎት, የአገር ውስጥ የኤሌክትሮኒክስ ጋዝ ኢንዱስትሪ ወደ ውስጥ ይገባል. ከፍተኛ የእድገት መጠን.