በደረቅ ቅርፊት ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውሉት የኢቺንግ ጋዞች ምንድናቸው?

ደረቅ የመቅረጽ ቴክኖሎጂ ከዋና ዋና ሂደቶች አንዱ ነው። ደረቅ የመቅረጽ ጋዝ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ቁልፍ ቁሳቁስ እና ለፕላዝማ የመቅረጽ አስፈላጊ የጋዝ ምንጭ ነው። አፈፃፀሙ በቀጥታ የመጨረሻውን ምርት ጥራት እና አፈጻጸም ይነካል። ይህ ጽሑፍ በዋናነት በደረቅ የመቅረጽ ሂደት ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውሉትን የመቅረጽ ጋዞችን ያካፍላል።

በፍሎሪን ላይ የተመሰረቱ ጋዞች፡- እንደካርቦን ቴትራፍሎራይድ (CF4)፣ ሄክሳፍሎሮኤቴን (C2F6)፣ ትሪፍሎሮሜቴን (CHF3) እና ፐርፍሎሮፕሮፔን (C3F8)። እነዚህ ጋዞች ሲሊኮን እና ሲሊከን ውህዶችን ሲቀርጹ ተለዋዋጭ ፍሎራይድ በብቃት ማመንጨት ይችላሉ፣ በዚህም የቁሳቁስ መወገድን ያስችላሉ።

በክሎሪን ላይ የተመሰረቱ ጋዞች፡- እንደ ክሎሪን (Cl2)፣ቦሮን ትሪክሎራይድ (BCl3)እና ሲሊኮን ቴትራክሎራይድ (ሲሲል4)። በክሎሪን ላይ የተመሰረቱ ጋዞች በመቅረጽ ሂደት ወቅት ክሎራይድ አየኖችን ሊያቀርቡ ይችላሉ፣ ይህም የመቅዳት ፍጥነትን እና የመምረጥ ችሎታን ለማሻሻል ይረዳል።

በብሮሚን ላይ የተመሰረቱ ጋዞች፡- እንደ ብሮሚን (Br2) እና ብሮሚን አዮዳይድ (IBr) ያሉ። በብሮሚን ላይ የተመሰረቱ ጋዞች በተወሰኑ የመቅረጽ ሂደቶች ላይ የተሻለ የመቅረጽ አፈፃፀም ሊሰጡ ይችላሉ፣ በተለይም እንደ ሲሊኮን ካርቦይድ ያሉ ጠንካራ ቁሳቁሶችን በሚቀርጹበት ጊዜ።

በናይትሮጅን ላይ የተመሰረቱ እና በኦክሲጅን ላይ የተመሰረቱ ጋዞች፡- እንደ ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (NF3) እና ኦክሲጅን (O2) ያሉ። እነዚህ ጋዞች ብዙውን ጊዜ በመቅረጽ ሂደት ውስጥ ያለውን የምላሽ ሁኔታ ለማስተካከል እና የመቀረጽ ምርጫን እና አቅጣጫን ለማሻሻል ያገለግላሉ።

እነዚህ ጋዞች በፕላዝማ መቅረጽ ወቅት አካላዊ ስፐተርሽን እና ኬሚካላዊ ግብረመልሶችን በማጣመር የቁሳቁሱን ወለል በትክክል መቅዳት ያስችላሉ። የመቅረጽ ጋዝ ምርጫ የሚወሰነው በሚቀረጽበት ቁሳቁስ አይነት፣ በሚቀረጽበት የምርጫ መስፈርቶች እና በሚፈለገው የመቀረጽ ፍጥነት ላይ ነው።