በደረቅ ጩኸት ውስጥ በተለምዶ የሚጠቀሙበት ጋዞችን ምንድናቸው?

ደረቅ የቴክኖሎጂ ቴክኖሎጂ ከቁልፍ ሂደቶች አንዱ ነው. ደረቅ የሆች ጋዝ በሴሚኮንደርኩሩ ማምረቻ እና ለፕላዝማ etching አስፈላጊ የጋዝ ምንጭ ነው. የእሱ አፈፃፀሙ የመጨረሻውን ምርት ጥራት እና አፈፃፀም በቀጥታ ይነካል. ይህ የጥናት ርዕስ በዋነኝነት የሚያጋራው በደረቅ ወገኖች ሂደት ውስጥ በተለምዶ የሚያገለግሉ ጋዞችን የሚጠቀሙባቸውን ጋዞችን ይጋራል.

ፍሎራይድ-ተኮር ጋዞች: - እንደየካርቦን ቴትራራሪንግ (CF4), ሄክሳፊሉሮቲሮቴንት (C2F6), Trifulocomathane (CHF3) እና perflov3) እና perflurophone (C3F8). እነዚህ ጋዞች በሲሊኮን እና ሲሊኮን ውህዶች በሚወጡበት ጊዜ የሲሊኮን እና ሲሊኮን ውህዶች በሚወጡበት ጊዜ ተለዋዋጭነት ያሳውቁ.

ክሎሪን-ተኮር ጋዞች: - እንደ ክሎሪን (CL 2),ቦሮን ትሪቺላንድ (ቢ.ሲ.ኤል.)እና ሲሊኮን ቴትራክላንድ (SicLL4). ክሎሪን-ተኮር ጋዞች በመግቢያው ሂደት ወቅት, የመርከቡን እና ልካራቸውን ለማሻሻል በሚረዳዎት ግቦቻ ሂደት ወቅት ክሎራይድ ክሎግራፎችን ሊያቀርቡ ይችላሉ.

ቢሮሚን-ተኮር ጋዞች: - እንደ ቢትሚን (BR2) እና Brominy አዮዲድ (ኢብ) ያሉ. በርካቶች ላይ የተመሰረቱ ጋዞችን በተለይም እንደ ሲሊኮን ካርደሪ ያሉ ጠንካራ ቁሳቁሶችን በሚወጡበት ጊዜ በተወሰኑ ግርማዎች ውስጥ የተሻሉ ዥረት አፈፃፀምን ሊያቀርቡ ይችላሉ.

ናይትሮጂን - የተመሰረቱ እና የኦክስጂን-ተኮር ጋዎች-እንደ ናይትሮጂን ትሪምፕ (NF3) እና ኦክስጅንን (ኦ 2). እነዚህ ጋዞች ብዙውን ጊዜ የችሎታውን መለኪያው እና አቅጣጫውን ለማሻሻል በመታሰቢያው ሂደት ውስጥ የምላሽ ሁኔታዎችን ለማስተካከል ያገለግላሉ.

እነዚህ ጋዞች በፕላዝማ atching ወቅት የአካል ማጎሪያ እና ኬሚካዊ ግብረመልሶችን በማጣመር የቁሳቁስ ወለል ጋር ይመሳሰላሉ. የ GCHing ጋዝ ምርጫ የተመካው በመርከቡ ውስጥ በሚገኙ ቁሳቁስ ዓይነት, የመርከቡ ምርጫ መስፈርቶች እና የተፈለገው የቤት ውስጥ ምሰሶዎች.