በደረቅ ማሳከክ ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውሉት የኢንፌክሽን ጋዞች ምንድን ናቸው?

የደረቅ ማሳከክ ቴክኖሎጂ ቁልፍ ከሆኑ ሂደቶች ውስጥ አንዱ ነው። ደረቅ ኤክሚንግ ጋዝ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ቁልፍ ቁሳቁስ እና ለፕላዝማ መፈልፈያ ጠቃሚ የጋዝ ምንጭ ነው። የእሱ አፈፃፀም የመጨረሻውን ምርት ጥራት እና አፈፃፀም በቀጥታ ይነካል. ይህ መጣጥፍ በዋናነት በደረቅ ማሳከክ ሂደት ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውሉትን ኤክች ጋዞችን ያካፍላል።

በፍሎራይን ላይ የተመሰረቱ ጋዞች: እንደካርቦን ቴትራፍሎራይድ (CF4), hexafluoroethane (C2F6), trifluoromethane (CHF3) እና perfluoropropane (C3F8). እነዚህ ጋዞች የሲሊኮን እና የሲሊኮን ውህዶችን በሚስሉበት ጊዜ ተለዋዋጭ ፍሎራይዶችን ውጤታማ በሆነ መንገድ ያመነጫሉ, በዚህም የቁሳቁስ መወገድን ያስገኛሉ.

በክሎሪን ላይ የተመሰረቱ ጋዞች፡ እንደ ክሎሪን (Cl2) ያሉቦሮን ትሪክሎራይድ (BCl3)እና ሲሊከን tetrachloride (SiCl4). በክሎሪን ላይ የተመሰረቱ ጋዞች በጨጓራ ሂደት ውስጥ ክሎራይድ ionዎችን ሊሰጡ ይችላሉ, ይህም የመፍቻውን ፍጥነት እና የመምረጥ ችሎታን ለማሻሻል ይረዳል.

በብሮሚን ላይ የተመሰረቱ ጋዞች፡ እንደ ብሮሚን (Br2) እና ብሮሚን አዮዳይድ (IBr) ያሉ። ብሮሚን ላይ የተመሰረቱ ጋዞች በተወሰኑ የማስወገጃ ሂደቶች ውስጥ በተለይም እንደ ሲሊከን ካርቦይድ ያሉ ጠንካራ ቁሳቁሶችን በሚቀቡበት ጊዜ የተሻለ የማሳከክ አፈፃፀምን ሊሰጡ ይችላሉ።

ናይትሮጅንን መሰረት ያደረጉ እና ኦክሲጅን ላይ የተመሰረቱ ጋዞች፡ እንደ ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (ኤንኤፍ 3) እና ኦክሲጅን (O2) ያሉ። እነዚህ ጋዞች በአብዛኛው ጥቅም ላይ የሚውሉት በጨጓራ ሂደት ውስጥ ያለውን የምላሽ ሁኔታዎችን ለማስተካከል የመርከቧን ምርጫ እና አቅጣጫ ለማሻሻል ነው.

እነዚህ ጋዞች በፕላዝማ በሚፈጠርበት ጊዜ በአካላዊ ምራቅ እና በኬሚካላዊ ምላሾች በማጣመር የቁሳቁስ ወለል ላይ በትክክል ማሳከክን ያገኛሉ። የጋዝ ጋዝ ምርጫ የሚወሰነው በሚቀረጽበት ቁሳቁስ ዓይነት, በምርጫ ምርጫ መስፈርቶች እና በሚፈለገው መጠን ላይ ነው.