የሰልፈር ሄክፋሉራይድ ሚና በሲሊኮን ናይትራይድ ማሳከክ ውስጥ

ሰልፈር ሄክፋሉራይድ በጣም ጥሩ የማገገሚያ ባህሪያት ያለው ጋዝ ሲሆን ብዙውን ጊዜ በከፍተኛ-ቮልቴጅ ቅስት ውስጥ በማጥፋት እና ትራንስፎርመር ፣ ከፍተኛ-ቮልቴጅ ማስተላለፊያ መስመሮች ፣ ትራንስፎርመሮች ፣ ወዘተ. .የኤሌክትሮኒካዊ ደረጃ ከፍተኛ-ንፅህና ያለው ሰልፈር ሄክፋሉራይድ በማይክሮኤሌክትሮኒክስ ቴክኖሎጂ መስክ በሰፊው ጥቅም ላይ የሚውል ተስማሚ የኤሌክትሮኒክስ ኤክተመንት ነው።ዛሬ, Niu Ruide ልዩ ጋዝ አርታዒ Yueyue ሰልፈር hexafluoride በሲሊኮን nitride etching ውስጥ ማመልከቻ እና የተለያዩ መለኪያዎች ተጽዕኖ ያስተዋውቃል.

የ SF6 ፕላዝማ etching SiNx ሂደትን እንነጋገራለን ፣የፕላዝማ ኃይልን መለወጥ ፣የ SF6/He ጋዝ ሬሾ እና የ cationic gas O2 በመጨመር ፣በ TFT SiNx ንጥረ-ነገር ጥበቃ ንብርብር ላይ ስላለው ተጽዕኖ እና የፕላዝማ ጨረር በመጠቀም። ስፔክትሮሜትር በ SF6/He, SF6/He/O2 ፕላዝማ እና በ SF6 የመከፋፈል መጠን ላይ የእያንዳንዱን ዝርያ ማጎሪያ ለውጦችን ይመረምራል, እና በ SiNx etching rate እና በፕላዝማ ዝርያዎች ትኩረት መካከል ያለውን ግንኙነት ይመረምራል.

ጥናቶች እንደሚያሳዩት የፕላዝማ ኃይል ሲጨምር, የማሳከክ መጠን ይጨምራል;በፕላዝማ ውስጥ ያለው የ SF6 ፍሰት መጠን ከጨመረ ፣ የኤፍ አቶም ትኩረት ይጨምራል እና ከእንቁላል ፍጥነት ጋር በጥሩ ሁኔታ ይዛመዳል።በተጨማሪም, የ cationic gas O2 በቋሚው አጠቃላይ የፍሰት መጠን ውስጥ ከተጨመረ በኋላ, የመፍቻውን ፍጥነት የመጨመር ውጤት ይኖረዋል, ነገር ግን በተለያዩ የ O2/SF6 ፍሰት ሬሾዎች ውስጥ, የተለያዩ የምላሽ ዘዴዎች ይኖራሉ, ይህም በሶስት ክፍሎች ሊከፈል ይችላል. : (1) የ O2 / SF6 ፍሰት ጥምርታ በጣም ትንሽ ነው, O2 የ SF6 መበታተን ሊረዳ ይችላል, እና በዚህ ጊዜ የማሳከክ መጠን O2 ካልተጨመረበት የበለጠ ነው.(2) የ O2/SF6 ፍሰት ጥምርታ ከ 0.2 ወደ ክፍተት ወደ 1 በሚጠጋበት ጊዜ, በዚህ ጊዜ, የ SF6 መበታተን ከፍተኛ መጠን ያለው የኤፍ አተሞችን ለመመስረት, የማሳከክ መጠን ከፍተኛ ነው;ግን በተመሳሳይ ጊዜ ፣ ​​በፕላዝማ ውስጥ ያሉት ኦ አተሞች እንዲሁ እየጨመሩ እና ከሲኤንክስ ፊልም ወለል ጋር SiOx ወይም SiNxO (yx) መፍጠር ቀላል ነው ፣ እና ብዙ ኦ አተሞች ሲጨምሩ ፣ የኤፍ አተሞች የበለጠ ከባድ ይሆናሉ ። ማሳከክ ምላሽ.ስለዚህ የ O2/SF6 ጥምርታ ወደ 1 ሲጠጋ የማሳከክ ፍጥነት መቀነስ ይጀምራል።በ O2 ከፍተኛ ጭማሪ ምክንያት የተበታተኑ ኤፍ አተሞች ከ O2 እና ከኦኤፍ ጋር ይጋጫሉ ፣ ይህም የኤፍ አተሞችን ትኩረትን ይቀንሳል ፣ በዚህም ምክንያት የመትከክ ፍጥነት ይቀንሳል።ከዚህ መረዳት የሚቻለው O2 ሲጨመር የ O2/SF6 ፍሰት ጥምርታ በ 0.2 እና 0.8 መካከል ነው, እና በጣም ጥሩውን የኢንፌክሽን መጠን ማግኘት ይቻላል.